Cessez de perdre du temps à sécher vos wafer MEMS !
Si vous continuez d’utiliser de l’air chaud pour sécher vos wafer après l’usinage ou le nettoyage, vous perdez inutilement du temps.
J’ai vu cela dans de nombreux ateliers : l’air chaud semble être une solution simple, mais en réalité c’est lent. Il faut d’abord chauffer l’air, puis cet air doit ensuite chauffer les wafer. C’est un processus intermédiaire qui allonge considérablement le temps de traitement.
Voici ce qu’il y a de bien avec les chauffages infrarouges :
Les chauffages infrarouges n’ont pas besoin de passer par l’air. Ils émettent des radiations électromagnétiques directement sur la surface des wafer. Vous atteignez ainsi la température souhaitée en quelques secondes, et non en minutes.
Lorsque vous travaillez avec des semi-conducteurs complexes, ces quelques secondes gagnées comptent énormément. Vos wafer peuvent passer plus rapidement par la chaîne de production, ce qui permet de terminer les séries de production plus rapidement. Le processus devient ainsi beaucoup plus efficace.
Mais attention : ce n’est pas aussi simple que de simplement remplacer une ampoule. Les chauffages infrarouges génèrent une forte chaleur. Si vos contrôleurs PID ne sont pas parfaitement réglés, vous risquez de dépasser la température souhaitée. Cela peut endommager les structures MEMS ou même surchauffer tout le système. Vous avez donc besoin d’un système de rétroaction fiable, sinon vous risquez des problèmes.
L’air chaud, lui, est plus tolérant. Mais les chauffages infrarouges ne le sont pas.
Néanmoins, si vous travaillez en grande quantité, les chauffages infrarouges sont la meilleure solution. Les postes de traitement sont plus petits que ces fours de convection géants, ce qui vous permet de traiter plus de wafer sans occuper trop d’espace. De plus, la qualité de chauffage est bien meilleure : il y a une distribution uniforme de la chaleur sur les wafer. Plus besoin de s’inquiéter des taches causées par l’eau ou des résidus chimiques qui apparaissent lorsque les courants d’air agissent de manière anormale.
Si vous souhaitez augmenter votre capacité de production, c’est la solution idéale. Un conseil : assurez-vous que votre système de refroidissement puisse gérer la chaleur produite par les chauffages infrarouges. Vous ne voulez pas que vos autres équipements soient endommagés pendant que vous séchez vos wafer.