Dans les ateliers de fabrication, les variations thermiques lors du séchage des wafers ou de la cuisson des matériaux photosensibles ne constituent pas seulement un obstacle. Elles affectent également les dimensions critiques des wafers et réduisent ainsi leur rendement. Nous avons conçu la lampe chauffante TEL pour maintenir une température constante, cycle après cycle.
Ce qui est important en termes de fonctionnement La lampe utilise un émetteur halogène à ondes courtes, placé à l’intérieur d’un boîtier en quartz de haute pureté. Cette conception, associée à une stratégie de contrôle en boucle fermée, permet de maintenir une uniformité de température sur le niveau des wafers à ±0,1 °C. La réponse de la lampe est rapide, ce qui évite tout excès de température pendant les processus de cuisson.
Dans les salles propres de classe 1–100, la présence de particules est inacceptable. Cette conception permet de maintenir un nombre faible de particules, même après des milliers de cycles thermiques. La reproductibilité des résultats reste constante pendant plus de 5 000 heures, avec des variations de température inférieures à 5 %.
Pourquoi cela convient bien au processus de fabrication La lithographie nécessite un contrôle strict de la température. La lampe permet d’obtenir des profils de cuisson répétables, ce qui aide à réduire les coûts, à améliorer le contrôle des dimensions des wafers et à diminuer les déchets.
Pour le nettoyage et le séchage des wafers, la lampe permet d’éliminer l’humidité de la surface sans créer de contraintes thermiques. Ainsi, on peut accélérer le processus tout en utilisant moins de consommables. Pour l’emballage, la lampe permet de durcir rapidement et uniformément les matériaux d’encapsulation, ce qui réduit le temps d’affinement dans le four et la consommation d’énergie. Les avantages sont : moins de réparations, des données de qualité plus fiables, et des horaires de production prévisibles.
Voici les détails pratiques La lampe s’installe facilement sur les plateformes TEL standards, avec des connecteurs et des systèmes de fixation appropriés. Cependant, l’alignement est crucial : la distance entre la lampe et le wafer doit être inférieure à quelques millimètres. Il faut donc vérifier cet alignement lors de l’installation.
Prévoyez un court période d’adaptation avant d’utiliser la lampe pleinement. Respectez les profils d’alimentation électrique spécifiés pour prolonger la durée de vie de l’émetteur et maintenir cette uniformité de température de ±0,1 °C.