Chauffage infrarouge de dégazage de plaquette
Sur le terrain en production, la cuisson du photo-résist ne se résume pas à atteindre une température donnée. C’est le budget thermique qui détermine...
Infrarouge vs convection pour le séchage des plaquettes
Sur le plancher de production, les traces d’eau après nettoyage ou solvant piégées dans la photorésine ne sont pas de simples défauts isolés. Elles...