पैकेजिंग से ठीक पहले, वेफर को अंतिम स्तर की सफाई से निकाला जाता है, और इसके बाद समय गिनना शुरू हो जाता है। वेफर की सतह पर मौजूद कोई भी नमी, वेफर की गुणवत्ता को खराब करने का कारण बन सकती है; इससे वेफर में दरारें पड़ सकती हैं, एवं उत्पादन में कमी आ सकती है। थर्मल प्रक्रिया में थोड़ी सी भी त्रुटि, फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता को प्रभावित कर सकती है। इसलिए वेफर को सुखाने हेतु ऐसी प्रक्रिया आवश्यक है जो लिथोग्राफी के समान ही सटीक हो, लेकिन पैकेजिंग की गति के अनुरूप भी हो।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखते हैं; सेटपॉइंट की सटीकता ±0.2°C के भीतर ही रहती है। हीटरों में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग किया जाता है; क्वार्ट्ज विंडोज के द्वारा ऊर्जा का सटीक एवं तेज़ हस्तांतरण संभव होता है। कार्बन-फाइबर से बने घटकों के कारण हीटरों में यांत्रिक स्थिरता बनी रहती है। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में, 0.1 μm आकार के कणों की संख्या 0.1 कण/सेमी² से कम ही रहती है।
वेफर की गुणवत्ता 5,000 घंटों तक स्थिर रहती है; तापमान में 5% से भी कम बदलाव होता है। नियंत्रण हेतु SECS/GEM तकनीक का उपयोग किया जाता है, एवं थर्मल प्रक्रिया 24/7 स्थिर रूप से ही चलती रहती है।
यह पैकेजिंग से पहले वेफर को सुखाने हेतु क्यों उपयुक्त है?
यह सेटअप, पैकेजिंग से पहले वेफर को सुखाने हेतु ही बनाया गया है। तापमान में तेज़ बदलाव होता है, इसलिए प्रक्रिया का समय कम हो जाता है। शून्य कणों की उपस्थिति से वेफर की सतह साफ रहती है, एवं सटीक तापमान नियंत्रण से फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता बनी रहती है।
ऊर्जा की खपत कम होती है…
हीटर तेज़ी से सेटपॉइंट तक पहुँच जाते हैं, इसलिए ऊर्जा की खपत कम होती है। परिणामस्वरूप, पुनर्कार्य कम होता है, वेफर के आयाम स्थिर रहते हैं, एवं उत्पादन दर भी स्थिर रहती है।
इसे चलाने हेतु क्या आवश्यक है?
208–240 वोल्ट की विशेष विद्युत आपूर्ति, एवं 4–6 बार दबाव वाली साफ एवं शुष्क हवा आवश्यक है। मॉड्यूल का आकार छोटा है, लेकिन क्वार्ट्ज विंडो के आसपास एक्सहॉस्ट एवं एक्सेस हेतु जगह आवश्यक है। मौजूदा हैंडलरों एवं बोटों से इसे जोड़ना आसान है; लेकिन वेफर की गुणवत्ता की जाँच हेतु पहले एक टेस्ट रन आवश्यक है।
इंटीग्रेशन हेतु दो हफ्ते का समय आवश्यक है…
इसमें SECS/GEM पैरामीटरों का निर्धारण भी शामिल है।