फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, उस हीटिंग प्लेट का तापमान, केवल वेफर को गर्म करने में ही मदद नहीं करता – बल्कि यह ही प्रक्रिया के लिए आवश्यक तापमान सीमाओं को भी निर्धारित करता है। “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” प्रक्रिया के दौरान कुछ डिग्री का अंतर ही परिणामों को प्रभावित कर सकता है; इससे वेफर के आकार में परिवर्तन हो जाता है, एवं उत्पादन की गुणवत्ता भी प्रभावित हो जाती है। हमारे फैब्रिकेशन वर्कशॉप में उपयोग होने वाले हीटर, वेफर पर समान तापमान बनाए रखने हेतु डिज़ाइन किए गए हैं… ताकि सब्सट्रेट पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे, और लिथोग्राफी एवं इचिंग प्रक्रियाओं में फोटोरेजिस्ट का प्रोफाइल स्थिर रहे।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज-हैलोजन शॉर्ट-वेव एमिटरों का उपयोग करते हैं, एवं इनके साथ कम-थर्मल-मास वाले हीटर भी उपयोग में आते हैं… ताकि तापमान में तेज़ी से परिवर्तन हो सके। नियंत्रण प्रणाली, वेफर पर ही मौजूद सेंसरों से डेटा प्राप्त करती है… न कि हीटर के शरीर से… ताकि सेटपॉइंट वास्तविक तापमान के अनुरूप ही रहे। यह हीटर, क्लास 1–100 की स्वच्छ कक्षाओं की आवश्यकताओं को पूरा करता है… इससे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता… एवं यह 24/7 चलता रहता है… बिना किसी विलंब के। 5,000+ घंटों तक भी इसकी प्रदर्शन क्षमता 0.2% के भीतर ही रहती है… इसलिए हर बार उत्पादन की गुणवत्ता समान ही रहती है।
असेंबली एवं बेकिंग प्रक्रियाओं में इसका क्या लाभ है?
बेकिंग स्टेशनों में हर बार एक ही तापमान प्रोफाइल आवश्यक है… “सॉफ्ट बेक” से विलायक हट जाते हैं, जबकि “हार्ड बेक” से मास्क सख्त हो जाता है। तापमान में अतिरिक्त परिवर्तन से समस्याएँ हो सकती हैं… जबकि तापमान में कमी से अवशेष बच जाते हैं। यह हीटर, तापमान प्रोफाइल को नियंत्रित करने में मदद करता है… जिससे अपव्यय कम हो जाता है… एवं प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है। ऊर्जा खपत, तापीय भार के अनुरूप ही होती है… इसलिए संचालन लागत भी कम हो जाती है… बिना रफ्तार कम होने के।
कुछ व्यावहारिक बातें…
इस उपकरण को विशेष, शील्डेड ऊर्जा स्रोत की आवश्यकता है… एवं स्वच्छ, शुष्क वातावरण भी आवश्यक है… वरना तापमान समान नहीं रहेगा। फील्ड में कनेक्टर बदलने से तापमान में कुछ डिग्री का अंतर हो सकता है। इंस्टॉलेशन की योजना, उपकरण के आकार के अनुसार ही बनानी चाहिए… एवं बेकिंग प्रक्रिया की विधियों की जाँच भी आवश्यक है। हम “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” हेतु कैलिब्रेशन मैप एवं रेसिपी टेम्पलेट भी प्रदान करते हैं… लेकिन अंतिम परिणाम, वेफर एवं चैंबर के वातावरण पर ही निर्भर है।