
परिचय
आइए, वास्तव में जानते हैं कि ऐसे ओवन कैसे काम करते हैं। हम सिर्फ कोई साधारण लैम्प लगाकर काम खत्म नहीं कर देते। वेफरों को सुखाने हेतु हम विशेष रूप से हीटिंग एलिमेंट बनाते हैं… क्योंकि सेमीकंडक्टर उत्पादन में तापमान को हर घंटे स्थिर, एकसमान एवं पूर्वानुमेय रखना आवश्यक है।
यह एक शॉर्टवेव इन्फ्रारेड एमिटर है, जिसका उपयोग नियंत्रित वातावरण में तेज़ एवं स्थिर ऊष्मा प्रदान करने हेतु किया जाता है। जब उत्पादन प्रक्रिया लगातार चलती रहती है, तो हीटिंग एलिमेंट को भी लगातार काम करना ही पड़ता है… उसका आउटपुट हमेशा स्थिर ही रहना चाहिए।
विस्तार से
वेफरों को सुखाने हेतु आवश्यक है कि तापमान को जल्दी से बढ़ाया जा सके, एवं उसे अच्छी तरह नियंत्रित किया जा सके। इसके लिए हम वोल्टेज, वाटेज एवं हीटिंग एलिमेंट की ज्यामिति जैसे कारकों पर ध्यान देते हैं… ताकि इच्छित परिणाम प्राप्त हो सके।
क्वार्ट्ज से बना हीटिंग एलिमेंट उच्च तापमान को सहन कर सकता है… एवं दबाव के कारण भी टूटता नहीं है। टंगस्टन फिलामेंट को बहुत ही सटीक तरीके से बनाया जाता है… इसलिए तापमान में बदलाव होने पर भी प्रतिरोध स्थिर रहता है। इस तरह ही ऊर्जा-प्रवाह स्थिर रहता है… और जब प्रक्रिया में तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित करना आवश्यक होता है, तो स्थिरता बहुत ही महत्वपूर्ण हो जाती है।
इसकी सामग्री – एवं इसका महत्व
वेफर सुखाने वाले ओवन के अंदरूनी हिस्से में कठोर परिस्थितियाँ होती हैं… इसलिए हम उच्च गुणवत्ता वाले क्वार्ट्ज एवं उच्च शुद्धता वाले टंगस्टन तारों का ही उपयोग करते हैं।
क्वार्ट्ज विघटन से बचता है… एवं प्रकाशीय ऊर्जा को स्थिर रूप से ही प्रसारित करता है। टंगस्टन गर्म बिंदुओं को कम करता है… एवं दानों के विकास को धीमा करता है। इस तरह ही ओवन लंबे समय तक काम कर सकता है… लगभग 5,000 घंटे तक।
चूँकि यह शॉर्टवेव इन्फ्रारेड एमिटर है… इसलिए यह तेज़ी से गर्मी प्रदान करता है… लेकिन पूरे ओवन को गर्म नहीं करता। इसका आकार छोटा रहता है… एवं प्रतिक्रिया-समय भी तेज़ रहता है।
आपके काम के लिए इसका महत्व
उत्पादन प्रक्रिया में वेफरों को तुरंत गर्मी मिलना आवश्यक है… एवं वह गर्मी स्थिर रहनी चाहिए। हमारा हीटिंग एलिमेंट उच्च ऊर्जा-घनत्व एवं स्थिर आउटपुट प्रदान करता है… इसलिए वेफर जल्दी ही सूख जाते हैं।
इसकी सामग्री एवं डिज़ाइन उच्च तापमान को सहन कर सकता है… इसलिए प्रदर्शन में कोई गिरावट नहीं आती। हर बार एक ही स्तर पर ही वेफर सूख जाते हैं। चूँकि हीटिंग एलिमेंट लंबे समय तक काम करता है… इसलिए आपको लगातार पार्ट्स बदलने या अनप्लान्ड मेंटेनेंस करने की आवश्यकता नहीं पड़ती।
लेकिन ध्यान रखें कि उच्च ऊर्जा-घनत्व के कारण ओवन को ठीक से ठंडा करने की आवश्यकता है… एवं सही विद्युत-सेटअप भी आवश्यक है। यदि ऐसा हो जाए, तो यह ओवन बेहतरीन तरीके से काम करेगा।
वास्तविकता
यदि लैम्प अपने निर्धारित वोल्टेज पर ही काम करे… एवं ओवन साफ रहे, तो यह 5,000 घंटे से अधिक तक काम कर सकता है। लेकिन दूषितता एवं अत्यधिक वोल्टेज के कारण इसकी उम्र कम हो जाती है।
हम कठिन परिस्थितियों के लिए ही इस ओवन को डिज़ाइन करते हैं… लेकिन सबसे अच्छे परिणाम तभी मिलते हैं, जब ओवन को उसी तरह ही चलाया जाए, जैसा कि इसके लिए डिज़ाइन किया गया है।