Berpindah ke Metode Pengeringan dengan Sinar Infra Merah dalam Proses Produksi Semi-Konvensional
Sejujurnya, oven konvensional pada dasarnya merupakan alat yang membutuhkan banyak energi untuk berfungsi. Di dunia semikonduktor, kita semua berusaha mencapai standar “bebas timbal” dan ramah lingkungan. Namun, memanaskan udara dalam jumlah besar hanya untuk mengeringkan wafer merupakan pemborosan waktu dan uang.
Itulah sebabnya semakin banyak orang beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar infra merah (IR). Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, metode ini hanya memanaskan permukaan wafer secara langsung.
Mengapa metode ini efisien dalam menghemat energi
Coba bayangkan oven pengering biasa. Energi digunakan untuk memanaskan dinding, udara, serta bagian-bagian lainnya. Ini tentu tidak efisien.
Berbeda dengan IR. Metode ini menggunakan radiasi elektromagnetik untuk mentransfer energi langsung ke bahan fotoresist atau bahan perekat. Kita menyebutnya “pemanasan selektif”. Dengan kata lain, hanya bagian yang benar-benar perlu dipanaskan saja yang akan dipanaskan.
Yang terbaik dari metode ini adalah waktu yang dibutuhkan untuk proses pengeringan berkurang dari jam menjadi detik. Sangat cepat! Hal ini juga membuat biaya listrik per wafer menjadi lebih rendah.
Menghindari penggunaan bahan beracun
Standar bebas timbal memang merepotkan, karena rentang suhu yang diperbolehkan sangat sempit. Jika suhu melebihi batas yang ditentukan, maka sirkuit akan rusak atau terbentuk rongga di antara komponen-komponennya.
Dengan IR, Anda dapat memilih panjang gelombang yang tepat—pendek, sedang, atau panjang—sesuai dengan kebutuhan bahan kimia yang digunakan. Hal ini memberikan kontrol yang lebih baik dibandingkan menggunakan udara panas. Dengan tingkat presisi seperti ini, Anda tidak perlu lagi menggunakan bahan tambahan berbasis timbal untuk menjaga stabilitas suhu.
Kenyataan di lapangan
Saya tidak mengatakan bahwa IR merupakan solusi ajaib. Metode ini juga memiliki kelemahan-kelemahannya sendiri. Pertama, sensor-sensornya harus dipasang dengan tepat. Jika termokopler dipasang di posisi yang salah, maka akan muncul area dingin. Tanpa adanya aliran udara untuk mengalirkan panas, penempatan sensor sangatlah penting.
Selain itu, lampu IR berkemampuan memancarkan energi yang sangat tinggi. Jika perlindungan yang digunakan kurang memadai, maka komponen elektronik mesin tersebut bisa rusak. Tentu hal ini bukanlah hal yang baik.
Jika Anda ingin metode ini benar-benar efektif tanpa merusak kualitas produksi, gunakan kontroler PID berbasis sistem tertutup. Dengan demikian, suhu dapat dipertahankan dalam rentang ±1°C, sehingga proses pengeringan menjadi lebih mudah dan efisien.