Un modo migliore per utilizzare la tecnologia di essiccazione a raggi infrarossi
Quando si procede all’essiccazione delle wafer o alla polimerizzazione del fotoresist, non è certo conveniente perdere tempo ad riscaldare un intero contenitore metallico. Ecco perché utilizziamo lampade a emissione di raggi infrarossi ad alta purezza.
Pensateci: è come confrontare il tempo necessario per far pré-riscaldare un intero forno con quello richiesto dall’uso di un tostapane. Invece di riscaldare l’aria, queste lampade emettono radiazioni infrarosse direttamente sul substrato.
È un metodo diretto e veloce. Utilizziamo filamenti di tungsteno ad alta densità, avvolti in quarzo ad alta purezza, per ottenere questo risultato. Le onde infrarosse colpiscono il materiale semiconduttorio e si trasformano immediatamente in calore. Non viene sprecata energia per riscaldare le pareti della macchina: il calore arriva esattamente dove è necessario. È semplicemente un modo più intelligente per risparmiare energia.
C’è anche l’aspetto “ecologico”. Se si lavora con materiali senza piombo o con tecniche di essiccazione ecocompatibili, l’intervallo di temperatura è molto ristretto. Troppo caldo? Il substrato viene distrutto. Troppo freddo? La connessione tra i componenti non è efficace.
Il vantaggio delle lampade ad alta purezza è che reagiscono in pochi millisecondi. È possibile accendere e spegnere il calore quasi istantaneamente. Grazie a un controllo preciso, non è più necessario utilizzare solventi chimici o acceleranti pericolosi. Niente VOC, niente fondenti a base di piombo. Solo calore pulito e efficace.
Tuttavia, c’è un problema: queste lampade producono una grande quantità di calore in uno spazio ridotto. Questo rappresenta una grossa pressione sul sistema di raffreddamento. Se i ventilatori o i dissipatori termici non sono adeguati, i componenti elettronici intorno alla lampada potrebbero danneggiarsi. Bisogna trovare quel punto ottimale tra l’output della lampada e la capacità del sistema di dissipare quel calore; altrimenti bisognerà sostituire frequentemente i componenti danneggiati.
Poiché queste lampade vengono utilizzate nelle sale pulite, il quarzo viene trattato per evitare che ne escano sostanze dannose. In questo modo, niente può finire sulla wafer durante il processo di lavorazione. È semplice, efficace… e funziona davvero bene.