탄소 나노튜브 제조용 히터

제조 공정에서는 온도 조절이 매우 중요합니다. 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도, 혹은 치료 과정 중 웨이퍼의 특정 부분이 차가워지면, 이는 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 좋은 품질의 칩도 그로 인해 폐기물이 될 수 있죠....