반도체 클린룸용 트롤리 히터

웨이퍼를 따뜻하게 유지하기: 왜 우리는 트롤리에 적외선 가열 방식을 사용하는가? 웨이퍼를 한 가공 단계에서 다른 단계로 옮길 때는 온도가 매우 중요합니다. 오랫동안는 대류식 오븐이 주로 사용되었지만, 솔직히 말해 그건 낭비입니다. 몇 개의 웨이퍼를 따뜻하게 유지하기...