실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기 웨이퍼를 건조하거나 포토레지스트를 경화시킬 때, 우리가 원하는 것은 단순히 “열” 그 자체가 아닙니다. 우리가 원하는 것은 광자들이 정확히 필요한 위치에 도달하는 것입니다. 문제는 일반적인 적외선 램프들이 에너지를 모든 방향...

라인 위에 배터리 분리막 필름 스택이 얇고 민감하며 조금의 오차도 허용하지 않는 상태로 대기 중이다. 작은 열 구역 하나라도 이동하면 필름의 수분 분포가 변한다. 이는 이후 핀홀, 모서리 말림, 또는 다음 적층 공정에서 수정할 수 없는 치수 변화로 나타난다. 배터리...