Di bilik pengeringan wafer, zarah berukuran kurang dari 1 nm yang terdapat pada alat pengering tersebut boleh memusnahkan wafer berukuran 300 mm dalam masa beberapa saat sahaja. Pemanas jenis lama cenderung untuk tidak stabil, dan ketidakteraturan suhu akan menyebabkan perubahan lebar garisan setelah proses pemprosesan photoresist. Oleh itu, diperlukan sistem kawalan suhu yang mampu menyesuaikan diri dengan kelajuan proses tersebut, bukannya sistem yang bertentangan dengan kelajuan proses tersebut.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami telah mereka bentuk sistem pemanas untuk pengeringan wafer dengan prestasi termal yang setaraf dengan standard litografi. Komponen utamanya ialah sistem pemanasan jenis kuarsa-halogen, yang direka untuk memberikan respons yang cepat dan konsisten. Sistem ini dapat mengekalkan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pengeringan. Kepastian suhu yang tinggi membolehkan proses pengeringan berjalan dengan lancar dari satu sesi ke sesi yang lain.
Sistem ini beroperasi dalam persekitaran berkualiti tinggi, iaitu kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan serta reka bentuk sistem ini dipilih agar tidak ada zarah yang terhasil semasa operasi. Dengan adanya sistem ini, anda akan mendapat kebolehpercayaan 24/7 tanpa henti kerja yang tidak dijangka, serta output yang stabil selama lebih dari 5,000 jam.
Mengapa sistem ini berguna dalam praktiknya
Dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer, pemanas ini membantu menstabilkan suhu. Proses spin-dry akan menghasilkan permukaan wafer yang bersih tanpa sisa-sisa bahan kimia, serta energi permukaan yang dapat diramalkan. Dalam proses pemprosesan photoresist, kawalan suhu yang tepat membantu menjaga dimensi wafer yang betul, sekaligus mengurangkan keperluan untuk memproses semula wafer tersebut. Hasilnya adalah kadar keluaran yang lebih tinggi, pengurangan jumlah wafer yang rosak, serta penggunaan tenaga yang lebih rendah disebabkan oleh kawalan suhu yang efisien.
Apa yang perlu dipertimbangkan
Pemanas ini direka khusus untuk bentuk chuck tertentu dan profil voltan tertentu. Untuk memasangnya semula, diperlukan penyesuaian yang tepat dari segi dimensi dan elektrikal. Luangkan sedikit masa untuk menyetel parameter PID dan kuasa pemanasan agar sesuai dengan bahan kimia dan bahan yang digunakan. Jangka hayat pemanas ini bergantung pada kebersihan udara sekeliling serta pola penggunaan tenaga. Pastikan kandungan zarah di udara rendah, dan elakkan operasi on/off yang berulang-ulang agar integriti lampu dan kuarsa dapat dipelihara.