Op de lithografieafdeling weet je hoe het werkt: een zachte verhitting die zelfs maar een halve graad verschilt, kan al tot problemen leiden. Bovendien kan het voorkomen dat een product dat eigenlijk goed zou zijn, uiteindelijk als afval wordt beschouwd. Er is dus behoefte aan een warmtebron die zich gedraagt als een echte procesparameter, en geen extra variabele die moet worden in de gaten gehouden.
Wat technisch belangrijk is Wij gebruiken korte-golf-infraroodstraling met kwartsemissoren in onze lampen voor de zachte verhitting van de fotoresist. De warmte wordt snel en gericht overgedragen, waardoor er een uniformiteit van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer ontstaat. Het thermische profiel blijft consistent van product tot product, zodat het niet meer nodig is om te raden wat de juiste instellingen zijn.
Het systeem is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig gas vrijgeven, er wordt geen stof gegenereerd, en de optische weg is afgesloten zodat vuil niet in het proces kan komen. Er is ook een temperatuurregeling ingebouwd, zodat de gewenste temperatuur constant blijft. Het systeem kan 24/7 draaien zonder onverwachte stilstanden.
Waarom het hier werkt Tijdens de productie zorgt de zachte verhitting ervoor dat de oplosmiddelen worden verwijderd en dat er geen spanningen in de film ontstaan. Hierdoor blijft het gedrag van de fotoresist consistent, neemt het aantal herwerkingen af en blijft de controle over de dikte van de film nauwkeurig.
De thermische respons is snel genoeg om de verhittingsduur te verkorten, zonder dat dit tot problemen leidt. Hierdoor neemt de productiecapaciteit toe, terwijl de thermische parameters binnen de vereisten blijven. De energieverbruik neemt af, omdat de emissoren nauwkeurig worden geregeld en er minimale warmtelossen zijn. Bovendien heeft het systeem een langere levensduur en minder onderhoudsbehoeften, waardoor de productiecontinuïteit gewaarborgd blijft.
Dingen om in gedachten te houden De installatie moet perfect zijn: de lamp moet goed rechtstreeks op het waferoppervlak staan, en er moet zuivere stroom worden gebruikt. Voltagefluctuaties kunnen de regelingstoren verstoren en de uniformiteit verminderen.
De uitgangssterkte van de lamp is gevoelig voor de afstand tussen de emitter en het substraat. Daarom moeten de mechanische toleranties overeenkomen met de vereiste afstand. Het is belangrijk om de temperatuursensor regelmatig te kalibreren en om de uniformiteitskaart periodiek te controleren, zodat de prestaties altijd binnen de vereisten blijven.