HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENSOORGLASBLADEN
Stop met het verspillen van tijd aan het drogen van uw MEMS-wafers
Als u nog steeds gebruikmaakt van hete lucht om de wafers te drogen na het etchen...
Verwarmdelement van de droogoven voor wafers
Inleiding
Laten we eerlijk zijn over wat er nodig is om deze ovens te laten werken. We gebruiken geen gewone lampen; we bouwen de...
Verwarmer voor industriëel chipdroogsysteem
Op de productielijn kan een deeltje van minder dan 1 nm op een droogingschacht al in seconden schade toebrengen aan een 300 mm grote chip. Oude...
Infrarood versus convectie voor het drogen van wafers
Op de productievloer zijn watermerken na reiniging of oplosmiddel die in de fotoresist zijn opgesloten niet slechts geïsoleerde defecten. Ze stapelen...