Wafer ontgassing infrarood verwarming
Out on the fab floor draait het bij de photoresist bake niet alleen om het bereiken van een bepaalde temperatuur. Het is het thermische budget dat de...
Infrarood versus convectie voor het drogen van wafers
Op de productievloer zijn watermerken na reiniging of oplosmiddel die in de fotoresist zijn opgesloten niet slechts geïsoleerde defecten. Ze stapelen...