Na linii produkcyjnej jakość uzależniona jest od precyzyjnego kontrolowania temperatury – to proste i oczywiste. Nawet niewielka zmiana temperatury o 0,5°C podczas procesu delikatnego suszenia fotorezystu lub wystąpienie chłodnego punktu na powierzchni płytki podczas procesu utwardzania może zakłócić krytyczne wymiary elementów płytki, zwiększyć liczbę cząstek oraz przemienić dobrze przygotowaną płytkę w surowiec nie nadający się do użycia. Stworzyliśmy specjalne grzałki na bazie węglowych nanorurek, aby wyeliminować te problemy związane z kontrolą temperatury.
Co jest ważne w tym procesie? Wybraliśmy grzałki na bazie węglowych nanorurek, ponieważ szybko reagują, pozostają w określonym obszarze i zachowują stałą emisyjność ciepła. W połączeniu z krótkofalowym światłem podczerwonym umożliwiają efektywną przenoszenie energii. Dzięki temu uzyskujemy jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki w zakresie ±0,1°C, a dokładność regulacji wynosi ±0,2°C. Kontrola tempa wzrostu temperatury zapewnia zachowanie dopuszczalnych wartości temperatury, a stabilność temperatury utrzymuje się przez cały czas trwania procesu suszenia i utwardzania. Taki układ nie powoduje powstawania żadnych cząstek i nadaje się do używania w pomieszczeniach klasy czystości 1–100. System z zamkniętym obwodem kontrolnym umożliwia ciągłą pracę bez przerw.
Dlaczego to jest ważne w litografii i innych procesach? W litografii konieczny jest regularny proces delikatnego suszenia fotorezystu, aby uzyskać odpowiednią lepkość fotorezystu i usunąć rozpuszczalniki. W procesie intensywnego suszenia konieczne jest powtarzalne tworzenie wiązań między atomami, aby wzór na płytki pozostał nienaruszony. Nasze grzałki zapewniają taką jednorodność i powtarzalność, które są niezbędne do utrzymania właściwych parametrów procesu i redukcji zmienności na brzegach płytki. Suszenie płytki odbywa się w sposób bardziej efektywny, z mniejszą ilością defektów na powierzchni i mniejszą potrzebą ponownej obróbki.
Szybka reakcja grzałek skraca czas cyklu, a efektywne wykorzystanie światła podczerwonego zmniejsza zużycie energii na jedną partię produktu. To otwiera nowe możliwości w procesach produkcyjnych, zmniejsza ilość odpadków i przedłuża okresy konserwacji sprzętu.
Co należy uwzględnić podczas planowania? Grzałki na bazie węglowych nanorurek wymagają specjalnego zasilania i interfejsu sterowania, który będzie odpowiadał charakterystykom Twojego sprzętu oraz wymogom bezpieczeństwa. Oczekuj krótkiego czasu konfiguracji, aby dostosować parametry grzałek do specyfiki Twojego sprzętu.
System jest solidny, ale musisz sprawdzić, czy doskonale współpracuje z elementami sprzętu, takimi jak chopper i komora procesowa. W przeciwnym razie nie będziesz mógł utrzymać wymaganej jednorodności temperatury. Gdy już to ustalisz, proces będzie przebiegać stabilnie. Przerwy w pracy następują tylko wtedy, gdy sam to zdecydujesz.