پیکیجنگ سے بالکل پہلے، ویفر کو آخری صفائی کے مرحلے سے نکالا جاتا ہے، اور اس کے بعد وقت شروع ہو جاتا ہے۔ سطح پر موجود کوئی بھی نمی، خرابیوں کا سبب بن سکتی ہے؛ جیسے خلا پیدا ہونا، پرتوں کا الگ ہونا، اور پیداوار میں کمی۔ حرارتی عمل میں تھوڑی سی بھی غلطی، فوٹوریزسٹ کی ساخت کو نقصان پہنچا سکتی ہے، اور اس سے پیداوار میں استحکام ختم ہو جاتا ہے۔ لہذا، خشک کرنے کا عمل بھی اتنا ہی درست ہونا چاہیے جتنا کہ لیتھوگرافی کا عمل، لیکن اسے پیکیجنگ کی رفتار کے مطابق ہی انجام دینا ضروری ہے۔
کیا اہم ہے؟
ہم ویفر کی سطح پر حرارتی یکسانیت کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں، جبکہ سیٹپوائنٹ کی یکسانیت ±0.2°C کے اندر رہتی ہے۔ ہیٹرز میں شارٹ-ویو انفراریڈ تکنالوجی استعمال کی جاتی ہے، اور کوارٹز کی کھڑکیوں کی مدد سے تیز اور صاف توانائی منتقل کی جاتی ہے۔ کاربن-فائبر سے بنے عناصر، مکینیکل استحکام کو برقرار رکھنے میں مدد کرتے ہیں۔ کلاس 1–100 کے کلین روموں میں، ذرات کی تعداد 0.1 μm پر 0.1 ذرات/سم² سے کم رہتی ہے۔
آؤٹ پٹ کی استحکام
آؤٹ پٹ 5,000 گھنٹوں تک مستحکم رہتا ہے، اور اس کی شدت میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے۔ کنٹرول SECS/GEM کے ذریعے کیا جاتا ہے، اور حرارتی سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے۔
پیکیجنگ سے پہلے اس کی اہمیت
یہ سسٹم پیکیجنگ سے پہلے ویفر کو خشک کرنے کے لئے بنایا گیا ہے۔ درجہ حرارت تیزی سے تبدیل ہوتا ہے، لہذا سائیکل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور حرارتی بجٹ پر کوئی اثر نہیں پڑتا۔ صفر ذرات کی موجودگی سے ویفر کی سطح صاف رہتی ہے، اور یکسانیت سے فوٹوریزسٹ کی ساخت محفوظ رہتی ہے۔
توانائی کی کفایت
ہیٹرز جلدی ہی سیٹپوائنٹ پر پہنچ جاتے ہیں، اور اسے وہیں رکھتے ہیں؛ لہذا توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، کریٹیکل ڈائمینشنز مستحکم رہتی ہیں، اور پیداوار کی شرح بھی مستحکم رہتی ہے۔
اسے چلانے کے لئے کیا ضروری ہے؟
208–240 V کی بجلی کی ضرورت ہے، نیز 4–6 بار کا صاف اور خشک ہوا کا ماحول ضروری ہے۔ ماڈیول کا حجم چھوٹا ہے، لیکن کوارٹز کی کھڑکیوں کے ارد گرد جگہ چھوڑنا ضروری ہے تاکہ ہوا باہر نکل سکے۔ موجودہ ہینڈلرز اور بوٹس سے اسے جوڑنا آسان ہے، لیکن پہلے ایک چھوٹا سا ٹیسٹ کرنا ضروری ہے تاکہ ترتیبات کو درست کیا جا سکے۔
تیاری کے لئے وقت
تیاری کے لئے دو ہفتے کا وقت درکار ہے، جس میں SECS/GEM پیرامیٹرز کی ترتیب بھی شامل ہے۔