فیبر آرک فلور پر، فوٹوریزسٹ کو بھوننے یا ویفر کو خشک کرنے کے دوران درجہ حرارت میں ہونے والی تبدیلیاں صرف ایک رکاوٹ ہی نہیں ہیں؛ بلکہ یہ تبدیلیاں ویفر کے اہم ابعاد کو بدل دیتی ہیں، جس سے پروڈکشن کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔ ہم نے TEL ہیٹر لیمپ تیار کیا ہے، تاکہ عمل کے دوران درجہ حرارت مستقل رہے۔
اس ڈیزائن کی خصوصیات:
اس میں اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کے خول کے اندر شارٹ-ویو ہیلوجن ایمیٹر استعمال کیا گیا ہے، اور اس کے ساتھ بند لوپ کنٹرول سسٹم بھی موجود ہے۔ اس کی بدولت ویفر کے ابعاد ±0.1°C کے اندر رہتے ہیں۔ ردِعمل بہت تیز ہے، لہذا سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے دوران درجہ حرارت میں کوئی اضافہ نہیں ہوتا۔
کلاس 1–100 کلین روموں میں…
اس ڈیزائن کی بدولت ہزاروں حرارتی چکروں کے بعد بھی ذرات کی تعداد مستقل رہتی ہے۔ پروڈکشن کی کارکردگی 5,000 گھنٹوں تک برقرار رہتی ہے، اور درجہ حرارت میں تبدیلی 5% سے کم رہتی ہے۔
یہ ڈیزائن کیوں مناسب ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں درجہ حرارت کو بہت احتیاط سے کنٹرول کیا جاتا ہے۔ یہ لیمپ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے دوران مستقل درجہ حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے پروڈکشن کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور فضول اخراجات کم ہوتے ہیں۔ ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے دوران، یہ لیمپ سطح پر موجود نمی کو ختم کرتا ہے، بغیر کسی حرارتی دباؤ کے؛ اس طرح کم مواد کے ساتھ بھی کام تیزی سے انجام دیا جا سکتا ہے۔ پیکیجنگ کے دوران، یہ لیمپ انکیپسولنٹس کو جلدی اور یکساں طور پر خشک کرتا ہے، جس سے بھٹی کے استعمال کا وقت کم ہوتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔ نتیجے کے طور پر، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، SPC کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے، اور شیڈول بھی قابل پیشن گوئی رہتے ہیں۔
عملی تفصیلات:
یہ لیمپ معیاری TEL پلیٹ فارموں پر استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس کے لئے مناسب کنکٹرز اور ماؤنٹنگ سسٹم بھی موجود ہے۔ لیکن لیمپ اور ویفر کے درمیان فاصلے کو بہت احتیاط سے کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ لیمپ کو انسٹال کرنے سے پہلے اس کے اور ویفر کے درمیان فاصلے کی جانچ ضرور کرنی چاہیے۔ لیمپ کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے لئے، اسے کچھ وقت کے لئے چلایا جانا ضروری ہے، اور اس سے پہلے اسے کنٹرولڈ طریقے سے گرم کیا جانا چاہیے۔ ایمیٹر کی زندگی کو برقرار رکھنے اور ±0.1°C کے اندر درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لئے، مخصوص پاور سپلائی پروفائلز کی پابندی ضروری ہے۔