آئی آر کیوئرنگ کو بہتر طریقے سے انجام دینے کا طریقہ
جب آپ ویفرز کو خشک کرتے یا فوٹوریزسٹ کو عمل درآمد کراتے ہیں، تو آپ یقیناً ایک بڑے دھاتی باکس کو گرم کرنے میں وقت ضائع نہیں کرنا چاہتے۔ اسی لیے ہم UHP (الٹرا ہائی پیورٹی) ہیٹر لیمپس کا استعمال کرتے ہیں۔
اسے اس طرح سمجھیں: جیسے کہ پورے اوون کے پہلے سے گرم ہونے کا انتظار کرنے کے بجائے ٹوسٹر کا استعمال کرنا۔ یہ لیمپس فضا کو گرم کرنے کے بجائے مختصر لہروں والی انفراریڈ شعاعوں کو براہ راست سبسٹریٹ پر پہنچاتے ہیں۔
یہ طریقہ براہ راست ہے، اور بہت تیز بھی۔
ہم اس کے لئے اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز میں لپٹے ہوئے اعلیٰ کثافت والے ٹنگسٹن فلامنٹس کا استعمال کرتے ہیں۔ انفراریڈ لہریں سیمی کنڈکٹر مواد سے ٹکرا کر فوراً حرارت میں تبدیل ہو جاتی ہیں۔ اس طریقے سے آپ کو مشین کی دیواروں کو گرم کرنے میں توانائی ضائع نہیں ہوتی – حرارت بالکل اسی جگہ پہنچتی ہے جہاں اس کی ضرورت ہے۔ یہ توانائی کی بچت کا ایک بہترین طریقہ ہے۔
لیکن اس کے ساتھ ہی ایک مشکل بھی ہے…
یہ لیمپس بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں، اور اس سے پاور سپلائی پر بہت دباؤ پڑتا ہے۔ اس لئے آپ کو اپنے کولنگ سسٹم پر خصوصی توجہ دینی ہوگی۔ اگر فین یا ہیٹ سنک مناسب نہ ہوں، تو لیمپ کے ارد گرد موجود الیکٹرانکس خراب ہو سکتے ہیں۔ آپ کو لیمپ کی پیدا کردہ حرارت اور سسٹم کی کولنگ صلاحیت کے درمیان توازن قائم کرنا ہوگا، ورنہ آپ کو بار بار خراب پرزے تبدیل کرنے پڑیں گے۔
چونکہ یہ لیمپس کلین رومز میں استعمال ہوتے ہیں، اس لئے ہم کوارٹز کو خصوصی طریقے سے تیار کرتے ہیں تاکہ کوئی گیس باہر نہ نکلے۔ اس طرح لیمپ سے کوئی چیز باہر نہیں نکلتی، اور ویفر پر کوئی اثر نہیں پڑتا۔ یہ طریقہ بہت سادہ، صاف، اور مؤثر ہے۔