将热量精准地施加在需要的地方 在干燥晶圆或固化光刻胶时，我们需要的并非单纯的“热量”，而是让光子精准地照射到需要加热的表面上。 问题在于，普通的红外灯会向各个方向散射能量。如果无法控制这些能量的方向，那其实就是白白浪费电能，让机器的机壳而不是被处理的晶圆受到加热。这既浪费能源，也浪费时间。 为何选...

在生产线上，隔膜膜叠层静静等待——薄且敏感，零容错。一旦某个热区出现漂移，薄膜的含水量分布就会发生变化。后续工序会以针孔、边缘翘曲或尺寸漂移的形式显现出来，而下一道复合工序无法纠正这些问题。电池隔膜膜的干燥不仅仅是驱除溶剂，更是在设定决定良率的热预算。 工厂不会提供额外裕量。Class 1–100...