用于晶圆的精密红外传感器

在半导体制造厂中减少碳排放：为何精确的红外加热技术是最佳选择？ 如今，大家都在谈论半导体制造厂中的碳中和问题。其实，其中很大一部分原因与如何为设备加热有关。传统的电阻式加热器效率极低，因为它们试图让整个腔室都变热，这就好比为了加热一杯咖啡而让整个房间都变热一样。 这时，精确的红外加热灯就派上用场了...