ওয়েফারগুলোকে উষ্ণ রাখা: কেন আমরা আমাদের ট্রলিগুলোর জন্য আইআর হিটিং ব্যবহার করি?
যখন ওয়েফারগুলোকে বিভিন্ন প্রক্রিয়ার মধ্যে সরানো হয়, তখন তাপমাত্রাই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। দীর্ঘদিন ধরে কনভেকশন ওভেনই ব্যবহৃত হয়ে এসেছে; কিন্তু সত্যি বলতে, এগুলো অপচয়মূলক। কয়েকটি ওয়েফারকে উষ্ণ রাখার জন্য পুরো ঘরটিকেই উত্তপ্ত করতে হয়।
এই কারণেই আমরা আমাদের ক্লিনরুম ট্রলিগুলোতে ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করছি। এটা অনেক বেশি কার্যকর উপায়।
শক্তি সাশ্রয় করা
ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো বিকিরণের মাধ্যমে কাজ করে। ট্রলির চারপাশের বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে, আমরা তাপকে সরাসরি ওয়েফারের দিকে পাঠাই। এটা “সবুজ” কারখানা গড়তে চাওয়া কারও জন্যই দারুণ সমাধান। আমরা অনেক অপচয় এড়াতে পেরেছি। আর এই ল্যাম্পগুলো কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়। দীর্ঘ সময় ধরে সিস্টেমটিকে চালু রাখার দরকার নেই। সিস্টেমটি চালু করলেই কাজ শুরু হয়। খুবই সহজ।
হার্ডওয়্যার সংক্রান্ত বিষয়সমূহ
আমরা সাধারণত শর্টওয়েভ কোয়ার্টজ এলিমেন্ট ব্যবহার করি। এগুলো দ্রুত উপাদানগুলোর মধ্যে প্রবেশ করে; ফলে হার্ডওয়্যারগুলোকে ছোট রাখা যায়। আমরা ফোকাল লেন্থগুলো ঠিক করতেও অনেক সময় ব্যয় করি; কারণ যদি তাপ ওয়েফারের উপর সমানভাবে না ছড়ায়, তাহলে পুরো প্রক্রিয়াটিই অর্থহীন হয়ে যায়।
কিন্তু একটি বিষয় মনে রাখতে হবে: বিদ্যুৎ ব্যবহার নিয়ন্ত্রণ করুন। এই ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো অনেক বিদ্যুৎ ব্যবহার করে। যদি সাবধান না হন, তাহলে স্থানীয় সার্কিটটি ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। সুতরাং সুইচ চালু করার আগে নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার কেবলগুলো ও পাওয়ার সাপ্লাইটি চরম লোড সামলাতে সক্ষম।
কঠিন অংশটি
ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো দ্রুত কাজ করে; কিন্তু এগুলো খুবই আক্রমণাত্মক। এগুলো তীব্র “হট জোন” তৈরি করে। যদি ট্রলিটি ঠিকমতো সুরক্ষিত না থাকে, তাহলে ক্লিনরুমের বাতাস উত্তপ্ত হয়ে যেতে পারে; অথবা ট্রলিতে থাকা সেন্সরগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে।
এটা ঠিক করার জন্য আমরা রিফ্লেক্টিভ কোটিং ব্যবহার করি। এগুলো তাপকে আবার ওয়েফারের দিকে পাঠায় এবং হার্ডওয়্যারগুলোকে ঠান্ডা রাখে। এটা একটি ভারসাম্য বজায় রাখার ব্যাপার। দ্রুত তাপমাত্রা বাড়ানো যায়; কিন্তু সুরক্ষার ব্যাপারে সাবধান থাকতে হবে।