Die richtige Temperatur in einem Reinraum der Klasse 100 erreichen
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, kennt man das Problem nur zu gut: Schon ein winziger Staubkorn – ein kleiner Farbpartikel oder etwas Gas aus einem billigen Dichtstoff – kann dazu führen, dass die gesamte Waferbeschichtung unbrauchbar wird.
Beim Heizen sind in der Regel herkömmliche Infrarotlampen schuld. Sie verursachen Partikelausstöße und geben Chemikalien ab. Im Grunde genommen „atmen“ sie also Kontaminationen direkt auf das Substrat.
Wir haben beschlossen, dieses Problem zu lösen, indem wir auf hochreinen synthetischen Quarz zurückgreifen.
Warum hochreiner Quarz?
Die meisten Lampen verwenden Standardquarz – doch für Biosensoren reicht das nicht aus. Wir verwenden daher geschmolzenen Siliziumdioxid mit äußerst niedrigem Impuritiesgehalt. Das ist wichtig, denn solcher Quarz gibt bei Erhitzung keine Gase ab. Zudem arbeiten diese Lampen mit Kurzwelleninfrarot. Die Energie trifft somit fast sofort auf das Substrat. Es ist also sehr schnell.
Die Details des Designs
Wir haben darauf geachtet, dass die Abmessungen der Lampen klein bleiben, während die Wärmedichte hoch bleibt. Doch das eigentliche Geheimnis liegt darin, wie die Lampen miteinander verbunden werden. Hier finden Sie keine Klebstoffe oder flüchtigen Dichtstoffe. Alles wird entweder mechanisch festgehalten oder verschmolzen. Wenn Sie schon einmal eine Präzisionsanlage montiert haben, wissen Sie, wie sauber das dabei ist.
Eine Warnung
Es gibt einen Kompromiss: Hochreiner Quarz ist etwas brüchiger als das gedopfte Glas, an das man gewöhnt sein könnte. Bitte berühren Sie diese Lampen auf keinen Fall mit bloßen Händen! Die Öle in Ihrer Haut erzeugen „Hitzpunkte“ auf dem Glas – diese führen zu Rissen, und Risse wiederum führen zum Versagen der Lampen. Sagen Sie Ihren Mitarbeitern: Nutzen Sie immer staubfreie Handschuhe sowie Reinigungstücher mit Isopropanol. Jedes Mal.
Biosensoren effektiv nutzen
Letztendlich geht es darum, dass die Bio-Tinten richtig aushärten können und die Substrate ohne Probleme miteinander verbunden werden. Da wir uns nicht auf Konvektion verlassen, wird kein Luftstrom im Raum erzeugt. Keine bewegte Luft bedeutet auch keine Staubverbreitung. So entsteht eine stabile Umgebung – und vor allem ein Produkt, das wirklich sauber bleibt.