Hören Sie auf, zuzulassen, dass Lampenversagen Ihre Produktionsprozesse zerstören
In einer Anlage mit hohem Ausstoß an Wafern ist das Ausbrennen einer Lampe ein echtes Problem. Doch wenn die Quarztube tatsächlich platzt, dann ist das ein Albtraum. In solchen Fällen fallen Glasscherben sowie chemische Rückstände direkt auf die Wafern. Ein einziger solcher Vorfall reicht aus, um die ganze Charge als unbrauchbar zu betrachten. Wir haben unsere Infrarotlampen so konstruiert, dass so etwas niemals passiert.
Vermeidung von Unordnung
Wir verlassen uns nicht einfach darauf, dass das Glas halten bleibt. In den Bereichen mit hohem Energieverbrauch umhüllen wir die Heizelemente mit einer verstärkten Hülle. Das fungiert wie eine Art Schutzschicht. Wenn die innere Lampe durch die Hitze beschädigt wird, fangen die Scherben in der Hülle auf. Dadurch bleiben die Wafern sauber. So einfach ist das.
Hitze, Schock und Luftstrom
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarottechnologie, damit die Wärme schnell auf die Wafern übertragen werden kann – ohne dass das gesamte Gerät beschädigt wird. Zudem wählen wir Quarzmaterialien, die auch thermischen Schocken standhalten können. Die Lampen brechen also nicht einfach ab, nur weil die Stromzufuhr plötzlich unterbrochen wird.
Sicherheit durch präzise Konstruktion
Wir legen großen Wert auf kleine Details wie die Stecker. Eine schlechte Verbindung kann zu elektrischen Entladungen führen – das wiederum erzeugt kleine, intensive Hitzpunkte, die letztendlich die Lampe zerstören können. Wir verwenden präzise gefertigte Kontakte, um solche Hitzpunkte bereits im Vorfeld zu verhindern.
Ziel: Zuverlässigkeit
Unser Ziel ist es, die Art und Weise zu ändern, wie die Lampen versagen. Anstatt eines katastrophalen Versagens, bei dem alles kaputtgeht, erfolgt ein kontrolliertes Versagen der Lampe. Sie werden zwar einen Temperaturabfall in den Sensoren feststellen – doch auf den Wafern finden Sie keinen Quarzsand. Dadurch wird die Lampe zu einem wartbaren Bauteil, das einfach ausgetauscht werden kann – anstatt zu einer tickenden Zeitbombe in Ihrer Produktionslinie.