Die Wafer warm halten: Warum wir auf Infrarotheizung für unsere Transportwagen umgestiegen sind Wenn man Wafer zwischen den Verarbeitungsstationen...

Hören Sie auf zu raten – eine bessere Methode zur Steuerung der Temperatur in intelligenten Fertigungsanlagen Wenn Sie eine digitalisierte...

Hören Sie auf, Energie in Ihrer Waferfertigung zu verschwenden! Wenn Sie Ihre Fertigungsanlage aufrüsten, wissen Sie doch, dass das Verschwenden von...

Im Produktionsprozess verzeiht der Fotorezyst nicht kleine Abweichungen. Bei einer Temperaturerhöhung von 2°C entstehen Verformungen der Strukturen –...

In der Lithografie-Abteilung lernt man schnell, dass bereits eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad dazu führt, dass sich das Profil...