Die Wafer warm halten: Warum wir auf Infrarotheizung für unsere Transportwagen umgestiegen sind
Wenn man Wafer zwischen den Verarbeitungsstationen transportiert, ist die Temperatur entscheidend. Lange Zeit wurden dazu Konvektionsöfen verwendet – doch ehrlich gesagt: Das ist völlig nutzlos. Man heizt schließlich den ganzen Raum auf, nur um ein paar Wafer warm zu halten.
Deshalb haben wir an unseren Transportwagen Infrarotlampen eingebaut. Das ist eine viel effektivere Lösung.
Energie sparen – ohne Probleme
Infrarotheizung funktioniert durch Strahlung. Anstatt die Luft um den Transportwagen zu erhitzen, lenken wir die Wärme direkt auf den Waferträger. Das ist ein großer Vorteil für alle, die versuchen, eine „grüne“ Fabrik zu errichten. So können wir viel Energie verschwenden. Zudem erreichen diese Lampen ihre Zieltemperatur in Sekundenschnelle. Man muss das System nicht ständig laufen lassen, nur um einen langen Aufwärmvorgang zu vermeiden. Einfach genial.
Die technischen Aspekte
Wir verwenden in der Regel Kurzwellenkristalle. Sie dringen schneller in das Material ein – dadurch können die Komponenten klein bleiben und nicht im Weg sein. Wir müssen auch auf die Brennweiten achten: Wenn die Wärme nicht gleichmäßig auf dem Wafer verteilt wird, ist der ganze Prozess sinnlos.
Aber Achtung: Beachten Sie den Stromverbrauch. Diese Infrarotlampen verbrauchen viel Energie. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann das dazu führen, dass die Elektrik überlastet wird. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kabel und die Stromversorgung für die maximale Belastung geeignet sind, bevor Sie den Schalter einschalten.
Die Herausforderungen
Infrarotheizung ist zwar schnell, aber auch intensiv. Dadurch entstehen „heiße Zonen“. Wenn der Transportwagen nicht richtig abgeschirmt ist, kann die Luft im Reinraum erhitzt werden – oder noch schlimmer: Sensoren auf dem Transportwagen können beschädigt werden.
Um das zu vermeiden, verwenden wir reflektierende Beschichtungen. Dadurch wird die Wärme wieder zurück zum Werkstück geleitet und die Komponenten bleiben kühl. Es handelt sich dabei um einiges an Abwägung – man erhält zwar eine sehr schnelle Aufwärmzeit, muss aber trotzdem darauf achten, dass alles ordentlich abgeschirmt ist.