دستیابی به گرمای بیشتر در جاهایی که واقعاً لازم است
وقتی که در حال خشک کردن ویفرها یا تثبیت مواد فوتورزیستکننده هستید، شما فقط به دنبال گرما نیستید؛ بلکه به دنبال فوتونهایی هستید که دقیقاً در جاهایی که نیاز به گرما وجود دارد، به سطح برخورد کنند.
مشکل اینجاست که لامپهای معمولی مادون قرمز، انرژی را در تمام جهات پراکنده میکنند. اگر راهی برای هدایت این انرژی وجود نداشته باشد، در واقع شما پول زیادی را صرف گرم کردن بدنه دستگاه میکنید، نه سطح ویفر. این کار هم اتلاف انرژی است و هم اتلاف زمان.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
برای جلوگیری از اتلاف انرژی، از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. طلا فقط برای ظاهر خوب نیست؛ در طیف مادون قرمز، طلا انرژی بسیار بیشتری را نسبت به آلومینیوم یا فولاد صیقلی منعکس میکند.
با استفاده از لایههای طلا با خلوص بالا، میتوانیم تشعشعاتی که در مسیر اشتباهی قرار داشتند را دوباره به سمت ویفر هدایت کنیم. این کار باعث میشود گرمای بیشتری در هر سانتیمتر مربع سطح ویفر تولید شود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپها باشد.
سرعت در مقابل پایداری
اینجاست که موضوع جالب میشود؛ چون انرژی بسیار متمرکز است، میتوانید دمای مورد نظر را خیلی سریعتر به دست آورید. اما مشکل اینجاست که اگر انرژی زیادی را به یک ویفر نازک وارد کنید، سطح ویفر دچار تغییر شکل خواهد شد. به همین دلیل، از کنترلرهای دیجیتال مادون قرمز برای کنترل انرژی در زمان واقعی استفاده میکنیم؛ تا از فراتر رفتن از محدوده دمایی مورد نظر جلوگیری شود.
معایب استفاده از طلا
طلا مادهای نرم است؛ نمیتواند در برابر ضربات مقاومت کند. اگر تیم تعمیراتی از پدهای ساینده برای تمیز کردن دستگاه استفاده کند، لایه طلا از بین خواهد رفت. وقتی این اتفاق بیفتد، کارایی دستگاه کاهش خواهد یافت.
علاوه بر این، باید به مسئله گرمای تولید شده توسط لامپ نیز توجه کرد؛ حتی با وجود طلا، لامپ همچنان بسیار گرم میشود. نمیتوانید از فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده کم بهره ببرید؛ اگر این سیستمها برای تحمل این بار گرمایی مناسب نباشند، سنسورهای الکترونیکی دستگاه خراب خواهند شد.