نگهداری ویفرها در دمای مناسب: چرا از روش گرمایش مادون قرمز برای ترولیهای ما استفاده کردیم؟
هنگام منتقل کردن ویفرها بین مراحل مختلف فرآوری، دما اهمیت بسیار زیادی دارد. برای مدتها، از فرهای حرارتی برای این منظور استفاده میشد؛ اما صادقانه بگوییم، این روش بیفایده بود. در واقع، برای نگهداری دمای ویفرها، مجبور بودیم کل اتاق را گرم کنیم.
به همین دلیل، شروع کردیم به استفاده از لامپهای مادون قرمز در ترولیهای موجود در اتاقهای پاک. این روش، روشی بسیار بهتر برای مدیریت این مسئله است.
صرفهجویی در مصرف انرژی بدون مشکلات
نکته مهم درباره لامپهای مادون قرمز این است که آنها از طریق تابش عمل میکنند. به جای گرم کردن هوای اطراف ترولی، ما گرما را مستقیماً به سمت ویفرها هدایت میکنیم. این روش برای کسانی که سعی در ساخت کارخانههای «سبز» دارند، بسیار مفید است. ما توانستیم مقدار زیادی از انرژیهای اضافی را کاهش دهیم. علاوه بر این، این لامپها در عرض چند ثانیه به دمای مورد نیاز میرسند. نیازی نیست سیستم را ۲۴ ساعته روشن نگه داریم تا از زمان انتظار طولانی برای گرم شدن سیستم جلوگیری کنیم. فقط کافی است آن را روشن کنیم؛ کار تمام میشود.
جزئیات مربوط به سختافزار
ما معمولاً از عناصر کوارتزی با طول موج کوتاه استفاده میکنیم. این عناصر میتوانند سریعتر در مواد نفوذ کنند؛ بنابراین میتوانیم سختافزار را کوچک نگه داریم. همچنین، ما زمان زیادی را صرف تنظیم فاصله کانونی لامپها میکنیم؛ زیرا اگر گرما به طور یکنواخت در سطح ویفرها پخش نشود، کل فرآیند بیفایده خواهد بود.
اما یک نکته مهم: باید مراقب میزان مصرف انرژی باشیم. این لامپها میتوانند مقدار زیادی انرژی مصرف کنند؛ اگر مراقب نباشیم، ممکن است شبکه الکتریکی آسیب ببیند. حتماً از کابلها و منابع تغذیهای مناسب برای استفاده با این لامپها استفاده کنید.
بخش دشوار
لامپهای مادون قرمز سریع عمل میکنند، اما میتوانند باعث ایجاد مناطق بسیار گرم شوند. اگر ترولی مناسباً محافظت نشود، ممکن است هوای اتاق پاک گرم شود؛ یا حتی سنسورهای حساس موجود در ترولی ذوب شوند.
برای جلوگیری از این مشکل، از رزینهای بازتابنده استفاده میکنیم؛ این رزینها گرما را دوباره به سمت قطعات کاری بازمیگردانند و از گرم شدن سختافزار جلوگیری میکنند. این کار نیاز به تعادل خاصی دارد؛ باید مراقب باشیم تا سیستم به درستی کار کند.