בשלב הייצור, ממש לפני האריזה, הוופר יוצא מתהליך הניקוי הסופי, ואז מתחיל הזמן לצאת לדרך. כל לחות שנשארת על פני השטח מהווה איום – דבר שעלול לגרום לחורים, להפרדה בין שכבות הוופר, ולירידה באיכות המוצר. שינוי קל בטמפרטורה עלול לפגוע באיכות הפוטורזיסט ולפגוע בתהליך הייצור החוזר. יש צורך בייבוש מדויק, כמו בתהליך הליתוגרפיה, אך יש לעשות זאת במהירות, כדי שהתהליך יתבצע בזמן הנכון לפני האריזה.
מה חשוב בתהליך הייבוש? אנו שומרים על אחידות טמפרטורלית של הוופר ברמה של ±0.1°C, ועל עקביות בטמפרטורה של ±0.2°C. החיממים משתמשים בקרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, עם חלונות קוורץ שמאפשרים העברה יעילה של אנרגיה, וחומרים מחוזקים בפיברים של פחמן שמאפשרים יציבות מכנית. בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, כמות החלקיקים נשארת מתחת ל-0.1 חלקיקים לסמ”ר, בגודל של 0.1 מיקרומטר.
האיכות של הוופר נשארת יציבה במשך 5,000 שעות ויותר, כאשר השינויים בטמפרטורה נשארים מתחת ל-5%. הבקרה נעשית באמצעות SECS/GEM, והמערכת מיועדת לפעולה 24/7.
למה זה מתאים לשלב האריזה? המערכת הזו נוצרה במיוחד לייבוש הוופר לפני האריזה. עליית הטמפרטורה קורית במהירות, כך שזמן העיבוד יורד, מבלי לפגוע באיכות הוופר. אין הפרשי טמפרטורה, וזה שומר על ניקיון הצד הקדמי של הוופר. האחידות הגבוהה של הטמפרטורה שומרת על איכות הפוטורזיסט.
שימוש באנרגיה יורד, מכיוון שהחיממים מגיעים לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומרים עליה. התוצאה: פחות עבודה חוזרת, ממדים יציבים, ואפשרות לתכנון יעיל של תהליך הייצור.
מה נדרש כדי שהמערכת תעבוד? יש צורך במתח חשמלי של 208–240 וולט, וכן באוויר נקי ויבש בלחץ של 4–6 באר. המערכת קומפקטית, אך יש צורך במרווח סביב חלונות הקוורץ לצורך ניקוז וגישה. חיבור המערכת למכשירים הקיימים הוא פשוט, אך יש צורך לבצע ניסויים קצרים כדי להתאים את המערכת לצרכים.
צפו לזמן אינטגרציה של שבועיים, כולל התאמת פרמטרים באמצעות SECS/GEM.