בחדר הייצור, חלקיק בגודל של פחות מ-1 ננומטר שנמצא על המשטח שעליו מיובשת השבב, יכול להרוס שבב בגודל 300 ממ תוך שניות בודדות. החיממים המסורתיים אינם מספיקים לשליטה בטמפרטורה, וחוסר אחידות תרמית גורם לשינויים ברוחב הקווים לאחר תהליך העיבוד. יש צורך בשליטה תרמית שתוכל לעמוד בקצב התהליך, ולא שתפריע לו.
מה חשוב באמת? יצרנו את מערכת החימום של שבבים לשימוש בתהליכי ליתוגרפיה, תוך התמקדות בביצועים תרמיים מעולים. הליבה של המערכת היא עשויה מקוורץ-הלוגן, והיא מאפשרת תגובה מהירה ואחידה. המערכת מאפשרת אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C לאורך כל תהליך העיבוד. השליטה בטמפרטורה עוזרת לשמור על איכות קבועה בכל סדרת ייצור.
המערכת פועלת בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והחומרים והתכנון שלה נועדו למנוע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה. ניתן לקבל אמינות 24/7, ללא הפסקות בלתי צפויות, וביצועים יציבים לאורך 5,000 שעות ויותר.
למה זה חשוב בפועל? בתהליכי ניקוי וייבוש שבבים, החיממer מאפשר שליטה בטמפרטורה. תהליכי ייבוש מסיימים את עצמם עם משטחים נקיים לחלוטין ועם אנרגיה פני השטח צפויה. בתהליכי עיבוד פוטורזיסט, שליטה מדויקת בטמפרטורה מאפשרת שמירה על הממדים החשובים של השבב, ומפחיתה את הצורך בעיבוד חוזר. התוצאה היא תפוקה גבוהה יותר, פחות שבבים פגומים, ושימוש יעיל יותר באנרגיה.
מה צריך לקחת בחשבון? החיממer מותאם לגאומטריות ספציפיות של המשטחים עליהם הוא פועל, ולפרופילי מתח מסוימים. כדי להתאים את החיממer לתנאים הספציפיים, יש צורך בהתאמה מדויקת של הממדים והמתח. יש להקצות זמן לכיול החיממer, כדי שיעבוד בצורה יעילה עם החומרים השונים שמשמשים בתהליך הייצור.
תוחלת החיים של החיממer תלויה ברמת הניקיון בסביבה ובתהליכי ההפעלה. יש לשמור על רמה נמוכה של חלקיקים באוויר, ולהימנע מהפעלה/כיבוי מהירים של החיממer, כדי לשמור על איכותו.