웨이퍼를 따뜻하게 유지하기: 왜 우리는 트롤리에 적외선 가열 방식을 사용하는가?
웨이퍼를 한 가공 단계에서 다른 단계로 옮길 때는 온도가 매우 중요합니다. 오랫동안는 대류식 오븐이 주로 사용되었지만, 솔직히 말해 그건 낭비입니다. 몇 개의 웨이퍼를 따뜻하게 유지하기 위해 굳이 방 전체를 데울 필요가 없습니다.
그래서 우리는 클린룸용 트롤리에 적외선 램프를 사용하기 시작했습니다. 이 방식이 훨씬 더 효율적입니다.
에너지 절약과 번거로움 없는 작동
적외선의 장점은 복사를 통해 열을 전달한다는 점입니다. 트롤리 주변의 공기를 데우는 대신, 열을 직접 웨이퍼에 전달할 수 있습니다. 이는 “친환경 공장”을 만들고자 하는 사람들에게 큰 도움이 됩니다. 불필요한 에너지 낭비를 줄일 수 있으며, 또한 이 램프들은 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다. 긴 예열 시간을 기다릴 필요가 없습니다. 켜기만 하면 바로 작동합니다. 간단합니다.
하드웨어에 관한 세부 사항
보통 단파 석영 소자를 사용합니다. 이 소자는 재료를 더 빠르게 통과시켜주므로, 트롤리의 구조를 작고 간단하게 만들 수 있습니다. 또한 초점 거리도 신중하게 조정해야 합니다. 열이 웨이퍼 전체에 고르게 분배되지 않으면 전체 공정이 무의미해집니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 적외선 램프는 많은 전력을 소모합니다. 주의하지 않으면 전원 회로에 부담이 가서 문제가 생길 수 있습니다. 스위치를 켜기 전에 케이블과 전원 공급 장치가 최대 부하를 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.
어려운 점
적외선은 빠르지만, 동시에 강력한 열을 발생시킵니다. 이로 인해 “고온 구역”이 생깁니다. 트롤리가 제대로 보호되지 않으면 클린룸의 공기가 뜨거워지거나, 심한 경우 트롤리 자체에 있는 센서가 손상될 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해 반사 코팅을 사용합니다. 이 코팅은 열을 다시 작업물 쪽으로 반사시켜 하드웨어의 온도를 낮춰줍니다. 이는 균형을 맞추는 작업입니다. 빠른 가열 속도를 얻을 수 있지만, 제대로 된 보호 조치를 취해야 합니다.