MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 말리는 데 시간을 낭비하지 마세요. 에칭이나 세척 후에 여전히 강제로 뜨거운 공기를 사용하여 웨이퍼를 말리고 있다면, 그건 결국 아무런 이유 없이 시간을 낭비하는 것입니다. 많은 공장에서 이런 방식을 사용하고 있습니다. 뜨거운 공기는 안전해 보이지만...