TEL (도쿄일렉트론) 히터 램프

제조 현장에서는 포토레지스트를 가열하거나 웨이퍼를 건조하는 과정에서 발생하는 온도 변동이 단순한 병목 현상에 그치지 않습니다. 이러한 온도 변동은 웨이퍼의 크기를 변화시키고, 결국 생산 효율을 저하시킵니다. 우리는 공정 온도를 매번 일정하게 유지하기 위해 TEL 히터...