Mendapatkan lebih banyak haba di tempat yang sebenarnya diperlukan
Ketika anda mengeringkan wafer atau menyebabkan bahan fotoresist menjadi kering, anda bukan sekadar mencari “haba”. Anda sebenarnya ingin agar foton-foton tersebut sampai ke permukaan wafer tepat di tempat yang diperlukan.
Masalahnya ialah lampu inframerah biasa mengeluarkan tenaga ke semua arah. Jika tiada cara untuk mengarahkan tenaga tersebut, maka tenaga tersebut akan digunakan untuk memanaskan badan mesin tersebut, bukannya permukaan wafer. Ini merupakan pembaziran tenaga dan masa.
Mengapa kita menggunakan emas
Untuk mengelakkan kebocoran tenaga ini, kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Emas bukan hanya untuk tujuan estetika sahaja. Dalam spektrum inframerah, emas dapat memantulkan lebih banyak tenaga berbanding aluminium atau keluli yang telah diproses. Dengan menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi pada bahagian luar mesin, kita dapat mengalihkan radiasi yang menuju ke arah yang salah kembali ke permukaan wafer. Ini membolehkan kita mendapatkan lebih banyak watt per sentimeter persegi tanpa perlu meningkatkan kuasa lampu tersebut.
Kelajuan vs. Kestabilan
Ini adalah perkara yang menarik. Kerana tenaga yang digunakan sangat terkonsentrasi, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat. Namun, ada masalahnya. Jika terlalu banyak tenaga dimasukkan ke dalam wafer yang nipis, permukaan wafer akan rosak. Itulah sebabnya kita menggunakan pengawal inframerah digital. Sistem ini membolehkan kuasa yang digunakan dikawal secara masa nyata agar suhu wafer tidak melebihi had yang ditetapkan.
Kompromi dalam penggunaan emas
Emas merupakan bahan yang lembut. Ia tidak tahan terhadap geseran. Jika pasukan penyelenggaraan menggunakan alat yang kasar semasa membersihkan mesin, lapisan emas tersebut akan tercalar. Apabila itu berlaku, kecekapan mesin akan menurun. Selain itu, kita juga perlu memikirkan tentang masalah haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Walaupun emas dapat mengarahkan tenaga ke arah yang betul, lampu tersebut tetap akan menjadi sangat panas. Kita perlu menggunakan kipas penyejuk yang efektif untuk mengelakkan kerosakan pada komponen elektronik. Sangat mudah saja.