Menjaga suhu wafer agar tetap hangat: Mengapa kita beralih kepada penggunaan pemanas inframerah pada troli pemprosesan kita
Ketika memindahkan wafer antara pelbagai tahap pemprosesan, suhu merupakan faktor yang sangat penting. Untuk waktu yang lama, kaedah yang digunakan ialah menggunakan ketuhar konvektif. Namun, sebenarnya cara ini membuang-buang tenaga sahaja. Kita perlu memanaskan seluruh bilik hanya untuk menjaga wafer tersebut tetap hangat.
Itulah sebabnya kita mula menggunakan lampu inframerah pada troli pemprosesan di bilik bersih kami. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk mengendalikan proses pemprosesan tersebut.
Menjimatkan tenaga tanpa masalah
Ciri utama lampu inframerah ialah ia berfungsi melalui radiasi. Daripada memanaskan udara di sekeliling troli, kita boleh mengarahkan haba secara langsung ke permukaan wafer. Ini merupakan cara yang sangat baik untuk mengurangkan pembaziran tenaga. Selain itu, lampu ini dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Anda tidak perlu membiarkan sistem beroperasi 24/7 hanya untuk mengelakkan masa menunggu yang lama. Cukup hidupkan lampu tersebut, dan ia akan berfungsi dengan baik. Sangat mudah.
Butiran berkaitan peralatan
Kami biasanya menggunakan elemen kuarsa berfrekuensi rendah. Elemen ini dapat menembusi bahan dengan lebih cepat, jadi peralatan yang digunakan dapat direka agar lebih kecil dan tidak mengganggu fungsi troli. Kami juga perlu menyesuaikan panjang fokus lampu tersebut dengan teliti. Jika haba tidak tersebar secara merata pada permukaan wafer, maka keseluruhan proses pemprosesan akan menjadi sia-sia.
Namun, perlu berhati-hati dengan penggunaan tenaga. Lampu inframerah memerlukan tenaga yang banyak. Jika tidak berhati-hati, ia boleh merosakkan komponen elektrik di sekitarnya. Pastikan kabel dan sumber kuasa yang digunakan mampu menahan beban maksimum sebelum menghidupkan lampu tersebut.
Masalah yang perlu diatasi
Walaupun lampu inframerah berfungsi dengan cepat, ia juga boleh menyebabkan suhu yang sangat tinggi di kawasan tertentu. Jika troli tidak dilindungi dengan betul, ia boleh memanaskan udara di dalam bilik bersih, atau bahkan meleburkan sensor yang terdapat pada troli tersebut.
Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan lapisan reflektif. Lapisan ini akan memantulkan haba kembali ke permukaan wafer, sehingga peralatan tetap sejuk. Ini memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda boleh mendapatkan masa pengecasan yang cepat, tetapi perlu memastikan perlindungan yang mencukupi agar sistem berfungsi dengan baik.