
Por que nos preocupamos tanto com os testes dielétricos para os aquecedores de wafer
Quando se trabalha com wafer em um ambiente de vácuo extremo, não há espaço para erros. Um pequeno vazamento elétrico já é suficiente para estragar todo o lote de produtos, parar a linha de produção e causar grandes problemas.
Construímos nossos aquecedores para resistir a ciclos térmicos intensos, mas o verdadeiro inimigo é a falha na isolação elétrica. Um pequeno buraco no revestimento ou um fio levemente danificado pode causar arcos elétricos. É uma situação terrível, e gastamos muito tempo tentando evitá-la.
A razão pela qual realizamos testes de alta tensão e de resistência isolante em 100% dos produtos
Não nos limitamos a fazer testes aleatórios em alguns produtos. Cada aquecedor que sai da nossa fábrica passa por testes rigorosos de resistência à alta tensão e de resistência isolante.
Verificar se um aquecedor funciona é fácil. Mas não é isso que fazemos aqui. Na verdade, testamos até o limite absoluto das camadas dielétricas, para ver se elas conseguem resistir às condições extremas.
Alguns defeitos são invisíveis. Uma rachadura fina no revestimento de quartzo ou um pequeno defeito na cerâmica podem não ser detectados em testes de baixa tensão. Mas, assim que a temperatura sobe, o aquecedor já não funciona mais.
Ao aplicarmos alta tensão na fábrica, forçamos esses pontos fracos a falhar rapidamente. Preferimos que o aquecedor quebre em nosso laboratório, em vez de causar problemas dentro da máquina do cliente.
O trade-off: potência versus espaço
Para obter um aquecimento de alta densidade, é preciso manter o espaço entre o elemento aquecedor e o chassi com terra extremamente pequeno. Isso aumenta o risco de problemas elétricos. Você obtém a potência necessária, mas isso exerce grande pressão sobre a isolação elétrica.
Além disso, se aterrissagem do sistema não estiver correta, mesmo um aquecedor perfeito pode apresentar vazamentos de corrente. Por isso, garantimos que a resistência isolante fique bem acima do limite de quilohms. É a única maneira de ter tranquilidade.
Acabou com a “mortalidade infantil”
Ninguém gosta quando um componente novo falha logo após ser instalado. Chamamos isso de “mortalidade infantil”, e é algo que prejudica a produtividade.
Quando você recebe um aquecedor de nós, não precisa se preocupar se ele vai funcionar ou se a isolação elétrica será suficiente. Tudo já foi verificado. Basta conectá-lo, ajustar a temperatura e continuar trabalhando, sabendo que a segurança já está garantida no hardware.