На производственном участке показатель точности достигается за счет контроля температуры – это довольно просто. Несколько 0,5°C отклонения температуры во время процедуры размягчения фотополимера или наличие «холодных зон» на поверхности пластины во время процесса высыхания могут привести к смещению критических размеров деталей, увеличению количества частиц и превращению качественных деталей в негодные изделия. Мы разработали нагреватели на основе углеродных нанотрубок, чтобы исключить необходимость вручную регулировки температуры.
Что важно при работе с такими нагревателями
Мы выбрали нагреватели на основе углеродных нанотрубок, потому что они быстро реагируют на изменения температуры, обеспечивают стабильную эмиссию тепла, а также позволяют эффективно передавать энергию с помощью инфракрасного излучения короткой длины волн. Благодаря этому на поверхности пластины сохраняется одинаковая температура в пределах ±0,1°C, а точность установки температуры составляет ±0,2°C. Система контроля температуры позволяет сохранять её в заданных пределах без перегрузок, а стабильность сохраняется в течение длительного времени. Такой дизайн предотвращает образование частиц и подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100. Замкнутый цикл контроля позволяет использовать устройство без перерывов в работе.
Зачем это важно в литографии и других процессах
В литографии необходимо обеспечить стабильную температуру во время процедуры размягчения фотополимера, чтобы достичь правильной вязкости полимера и удалить растворители. В процедуре жесткого высыхания необходимо обеспечить стабильное связывание молекул, чтобы узор оставался неизменным. Наши нагреватели обеспечивают необходимую стабильность и повторяемость, что позволяет контролировать размеры деталей и снижать вариацию параметров на краях деталей. Поверхность пластины высыхает более равномерно, с меньшим количеством дефектов, что снижает необходимость переработки.
Быстрая реакция нагревателей сокращает время выполнения процесса, а эффективное использование инфракрасного излучения снижает расход энергии на одну партию продукции. Это позволяет расширить возможности процесса, снизить количество брака и увеличить интервалы технического обслуживания.
Что необходимо учитывать при планировании
Для использования нагревателей на основе углеродных нанотрубок требуется специальный интерфейс для подачи энергии и контроля, соответствующий характеристикам вашего оборудования и системам безопасности. Ожидается, что время на настройку будет небольшим, так как достаточно просто настроить параметры нагревателя в соответствии с характеристиками используемого фотополимера и подложки.
Система надежна, но все равно необходимо проверить её работу с конкретным оборудованием – иначе не удастся сохранить необходимую стабильность температуры. Как только все настроено правильно, процесс будет стабильным. Работа может быть прервана только по вашему решению.