На этапе заключительной обработки, непосредственно перед упаковкой, пластинка выходит из процедуры очистки; в этот момент начинается отсчет времени. Любая оставшаяся на поверхности влага может стать причиной появления дефектов, таких как поры и разделение слоев пластинки, а также снижения ее качества. Даже незначительные отклонения в температуре могут нарушить стабильность фотополимерной пленки и снизить точность процесса. Необходимо использовать методы сушки, которые были бы такими же точными, как при процедуре литографии, но при этом соответствовали бы требованиям, связанным с упаковкой.
Что важно для корректной работы оборудования Мы поддерживаем однородность температуры на поверхности пластинки в пределах ±0,1°C, а точность установления температуры – в пределах ±0,2°C. Для нагрева используется инфракрасное излучение короткой длины волны; кварцевые окна обеспечивают эффективную передачу энергии, а элементы из углеродных волокон придают конструкции механическую прочность. В чистых помещениях класса 1–100 количество частиц не превышает 0,1 частицы на квадратный сантиметр при размере частиц 0,1 микрометра.
Работоспособность оборудования сохраняется более 5 000 часов, при этом отклонения в интенсивности нагрева составляют менее 5%. Управление осуществляется с помощью системы SECS/GEM; конструкция оборудования позволяет ему работать круглосуточно.
Почему это подходит для предварительной упаковки Эта конфигурация разработана специально для предварительной упаковки. Процесс нагрева происходит быстро, что позволяет сократить время обработки без ущерба для качества пластинки. Отсутствие частиц сохраняет чистоту передней поверхности пластинки, а высокая однородность температуры защищает структуру фотополимерной пленки, сформированную в ходе процедур нагрева.
Потребление энергии снижается, поскольку нагреватели быстро достигают заданной температуры и сохраняют ее на постоянном уровне. Это позволяет сократить количество необходимых корректировок, обеспечить стабильность критических размеров пластинки и планировать объем производства.
Что необходимо для запуска оборудования Необходима отдельная линия электропитания с напряжением 208–240 В, а также чистый сухой воздух под давлением 4–6 бар. Размеры модуля компактны, но необходимо оставить пространство вокруг кварцевых окон для вентиляции и доступа к оборудованию. Подключение к существующим устройствам происходит легко, но перед началом работы рекомендуется провести пробный запуск для настройки параметров и проверки правильности расположения пластинок.
Ожидается, что время интеграции оборудования составит две недели, включая настройку параметров с помощью системы SECS/GEM.