Gerçekten önemli olan yerlere daha fazla ısı sağlamak
Waferleri kuruturken veya fotoresistleri sertleştirirken aslında sadece “ısı” aramıyorsunuz. Asıl amaç, fotonların tam da ihtiyaç duyulan noktalara ulaşmasıdır.
Sorun şu ki, standart kızılötesi lambalar oldukça verimsizdir; enerjiyi her yöne saçarlar. Enerjiyi yönlendirecek bir yönteminiz yoksa, aslında makinenin gövdesini ısıtmak için para ödemiş olursunuz. Bu hem enerji israfıdır hem de zaman kaybıdır.
Neden altın kullanıyoruz?
Bu enerji kaybını engellemek için altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Altın sadece görünüm açısından değil, aynı zamanda kızılötesi spektrumda alüminyum veya parlak çelikten çok daha fazla enerji yansıtabilir. Yüksek saflıkta altın katmanlarıyla cihazın içini kaplayarak, yanlış yöne giden radyasyonu tekrar waferin üzerine yansıtabiliyoruz. Böylece enerji yoğunlaşır ve lambaların gücünü artırmadan yüzey başına daha fazla watt elde edilebilir.
Hız vs. Kararlılık
İşte burada işler ilginçleşiyor. Enerji bu kadar yoğun olduğundan, hedef sıcaklıklara çok daha hızlı ulaşılır. Ancak bir dezavantaj var: Eğer ince bir wafer üzerine çok fazla watt yüklenirse, wafer bozulabilir. Bu durum anında gerçekleşir. Bu yüzden bunu dijital kızılötesi kontrol cihazlarıyla birleştiriyoruz. Wafer belirlenen sıcaklığa ulaştığında gücü gerçek zamanlı olarak ayarlayabilen bir sistem gereklidir; böylece aşırı ısınma ve parça bozulması engellenir.
“Gerçek dünyadaki” trade-off’lar
Altının bir dezavantajı ise yumuşak olmasıdır. Darbelere dayanamaz. Eğer bakım ekibi temizlik sırasında aşındırıcı malzemeler kullanırsa, altın katmanı zarar görebilir. Böyle bir durumda verimlilik düşer. Ayrıca, ısıya dayanıklı soğutma fanları ve ısı emicileri de gereklidir. Eğer bu unsurlar yeterince güçlü değilse, sensör elektronikleri bozulabilir. Bu kadar basit.