Paketleme işleminden hemen önce, yonga nihai temizlik işlemlerinden çıkıyor ve zaman kaydı başlıyor. Yüzeyde kalan her türlü nem, sorunlara yol açar; boşluklar, ayrışmalar ve verim kaybı kaçınılmaz olur. Hatta en ufak bir sıcaklık değişikliği bile fotoresistin bütünlüğünü bozabilir ve tekrarlanabilirliği olumsuz etkileyebilir. Bu yüzden, paketleme süreciyle uyumlu şekilde, titiz bir şekilde kurutma işlemi yapılmalıdır.
Önemli olan şeyler:
Yonganın her noktasındaki sıcaklık farkı ±0,1°C civarında tutulur; ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C içinde kalır. Isıtıcılar kısa dalga kızılötesi ışık kullanır; temiz ve hızlı enerji aktarımı için kuvars pencereler kullanılır. Mekanik stabilite için ise karbon lifleri kullanılır. Class 1–100 temiz odalarında, 0,1 μm boyutundaki parçacık miktarı 0,1 parça/cm²’nin altında tutulur.
Çıktı, 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit kalır; yoğunluktaki değişim %5’in altındadır. Kontrol işlemi SECS/GEM protokolüyle yapılır ve ısı kontrol devresi 24/7 güvenilirlik için tasarlanmıştır.
Neden paketleme öncesi için uygundur?
Bu sistem, paketleme öncesi kurutma işlemleri için tasarlanmıştır. Sıcaklık artışları hızlı olduğundan, döngü süresi azalır ve bu da enerji tüketimini düşürür. Sıfır parçacık oluşumu sayesinde yonganın ön yüzeyi temiz kalır; yüksek derecede eşitlik ise yumuşak ve sert pişirme işlemleri sırasında belirlenen fotoresist profillerini korur.
Enerji tüketimi azalır çünkü ısıtıcılar hızla ayar noktasına ulaşır ve orada sabit kalır; ani değişiklikler olmaz. Sonuç olarak daha az yeniden işlem gerekiyor, kritik boyutlar stabil kalıyor ve planlama yapmak mümkün oluyor.
Kullanım için gerekli olanlar:
208–240 V’luk özel bir elektrik beslemesi ve 4–6 bar basınçta temiz, kuru hava gereklidir. Modülün boyutu küçüktür, ancak egzoz ve erişim amacıyla kuvars pencerenin etrafında yer bırakılmalıdır. Mevcut taşıyıcılarla bağlantı kurmak kolaydır; ancak formülasyonu ayarlamak ve yonga konumunu doğrulamak için kısa bir test yapılmalıdır.
SECS/GEM parametrelerinin ayarlanması da dahil olmak üzere iki haftalık bir entegrasyon süresi gerekmektedir.