Üretim alanında, kurutma işlemi sırasında kullanılan 1 nm’den daha küçük parçacıklar, saniyeler içinde 300 mm’lik waferleri yok edebilir. Eski tip ısıtıcılar düzensiz ısı dağılımına neden olur ve fotoresist işlemlerinden sonra yüzey genişliğinde değişiklikler meydana gelir. İhtiyacınız olan şey, sürecin hızına ayak uydurabilen bir ısı kontrolüdür; sürece karşı çıkan bir sistem değil.
İşin içinde önemli olanlar
Endüstriyel wafer kurutma sistemlerindeki ısıtıcılar, litografi için gerekli olan yüksek ısı kontrol özelliklerine sahip olarak tasarlanmıştır. Temel yapısı kuvars-halogen tipindedir ve hızlı ve tekrarlanabilir tepkiler vermek için optimize edilmiştir. Bu sayede, işlem süresi boyunca wafer üzerindeki sıcaklık farkları ±0,1°C civarında tutulur. Sıcaklık tekrarlanabilirliği yüksek olduğundan, yumuşak ve sert kurutma işlemleri her seferinde aynı kalitede gerçekleşir.
Sistem, Temiz Oda Sınıfı 1–100 ortamlarda çalışır ve malzemeler ile yapı, işletim sırasında parçacık üretiminin sıfır seviyesinde kalmasını sağlayacak şekilde seçilmiştir. Böylece 24/7 güvenilirlik elde edilir ve 5.000 saat üzeri süreler boyunca istikrarlı performans sağlanır.
Neden bu sistem pratikte etkilidir?
Wafer temizleme ve kurutma işlemlerinde ısıtıcı, termal dengeyi sağlar. Döner kurutma işlemleri sonucunda yüzeylerde herhangi bir kalıntı kalmaz ve yüzey enerjisi öngörülebilir hale gelir. Fotoresist işlemlerinde ise hassas sıcaklık kontrolü, önemli boyutların korunmasını sağlar ve gereksiz yeniden işlemlerin önüne geçilir. Bunun sonucunda daha yüksek verimlilik, daha az atık ve verimli ısıtma sayesinde daha düşük enerji tüketimi elde edilir. İşlem süreçleri, düzensizlikler olmadan sorunsuz bir şekilde ilerler.
Planlamanız gerekenler
Isıtıcı, belirli chuck geometrileri ve voltaj profilleri için tasarlanmıştır. Modifikasyonlar için kesin ölçüsal ve elektriksel uyumluluk gereklidir. Solvent ve resist malzemeleri için PID ve ısıtma gücünü ayarlamak amacıyla kısa bir test süreci gereklidir.
Isıtıcının kullanım ömrü, çevre koşulları ve güç dalgalanmalarına bağlıdır. Gelen havadaki parçacık miktarını düşük tutun ve lamba ve kuvarsın bütünlüğünü korumak için hızlı açma/kapama işlemlerinden kaçının.