Üretim alanında, foto dirençlerin pişirilmesi veya wafer’lerin kurutulması sırasında meydana gelen termal değişimler sadece bir engel olmakla kalmaz; aynı zamanda kritik boyutları da değiştirir ve üretim verimliliğini düşürür. Bu sorunu çözmek için TEL ısıtıcı lambalarını geliştirdik; bu lambalar sayesinde işlem sıcaklığı her döngüde sabit tutulur.
Arka planda önemli olan şeyler
Yüksek saflıkta kuvars kaplaması içinde bulunan kısa dalga boylu halojen ışık kaynağı kullanılır ve bu sistem kapalı döngü kontrol stratejisiyle desteklenir. Böylece wafer seviyesindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C aralığında tutulur. Yanıt hızı oldukça yüksektir; bu sayede yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri sırasında sıcaklık aşımı yaşanmaz.
Class 1–100 temiz odalarında parçacık üretimi kaçınılmazdır. Bu tasarım, binlerce termal döngüden sonra bile parçacık sayısını sabit tutar. Ürünün tekrarlanabilirliği 5.000 saatten fazla süre boyunca korunur ve sıcaklık değişimi %5’in altında kalır.
Neden bu çözüm işlem için uygundur?
Litografi işlemleri sırasında sıcaklık kontrolü çok önemlidir. Bu lamba, yumuşak ve sert pişirme işlemleri için tekrarlanabilir sonuçlar sağlar; bu da atıkları azaltmaya, CD kontrolünü iyileştirmeye ve üretim süresini kısaltmaya yardımcı olur.
Wafer’lerin temizlenmesi ve kurutulması sırasında yüzeydeki nem alınırken termal stres oluşmaz; böylece daha az malzeme kullanılarak daha hızlı işlem yapılabilir. Paketleme aşamasında ise kaplamalar hızlı ve eşit şekilde kurur; bu da fırın kullanım süresini ve enerji tüketimini azaltır. Sonuç olarak daha az yeniden işleme gerekiyor, SPC değerleri daha düzgün oluyor ve planlamalar daha öngörülür hale geliyor.
Pratik detaylar
Bu lamba, uyumlu konektörler ve montaj elemanlarıyla standart TEL platformlarına yerleştirilebilir. Ancak lamba ile wafer arasındaki mesafenin milimetre cinsinden çok hassas olması gerekmektedir; bu nedenle kurulum sırasında bu mesafe mutlaka kontrol edilmelidir.
Ürünün performansının istenen seviyeye gelmesi için kısa bir uyum süresi gereklidir; bu yüzden kalifikasyondan önce kontrollü bir ısınma işlemi yapılmalıdır. Işık kaynağının ömrünü korumak ve ±0,1°C’lik homojenlik aralığını korumak için belirlenen güç kaynağı profillerine uyulmalıdır.