
IR ısıtma işlemlerini daha iyi yönetmenin yolu
Waferleri kuruturken veya foto direnç malzemelerini işlerken, devasa bir metal kutuyu ısıtmak için zaman kaybetmek istemezsiniz. İşte bu yüzden UHP (Ultra Yüksek Saflıkta) ısıtıcı lambalar kullanıyoruz.
Bunu, tüm fırının önceden ısınmasını beklemek ile tost makinesi kullanmak arasındaki fark gibi düşünebilirsiniz. Bu lambalar hava yerine kısa dalga boyundaki kızılötesi radyasyonları doğrudan yüzeye yönlendirir. Doğrudan ve hızlıdır.
Bunu mümkün kılmak için yüksek saflıkta kuvars içinde sarılmış yüksek yoğunluklu tungsten filamentler kullanıyoruz. Kızılötesi dalgalar yarı iletken malzemeye çarpar ve anında ısıya dönüşür. Makinenizin duvarlarını ısıtarak enerji boşa harcanmaz; ısı tam da gereken yere gider. Bu, enerji tasarrufu açısından daha akıllıca bir yöntemdir.
Bir de “yeşil” yanı var… Eğer kurşunsuz lehimleme veya çevre dostu işlemler kullanıyorsanız, sıcaklık aralığı oldukça dar olur. Çok sıcak mı? Yüzey yanar. Çok soğuk mu? Bağlantı sağlanamaz.
UHP lambaların avantajı, milisaniyeler içinde tepki verebilmeleridir. Isıyı neredeyse anında açıp kapatabilirsiniz. Kontrol çok hassas olduğu için, eskiden yaygın olarak kullanılan zararlı kimyasallara gerek kalmaz. Ne VOC’ler ne de kurşun içeren maddeler… Sadece temiz ve etkili ısı.
Ancak bir dezavantajı var: Bu lambalar, küçük bir alanda büyük miktarda ısı üretir. Bu da güç kaynağı üzerinde büyük bir baskı yaratır; bu yüzden soğutma sistemlerinin sağlam olması şarttır. Eğer fanlar veya soğutucular yeterli değilse, lambanın etrafındaki elektronik parçalar zarar görebilir. Lambanın verimliliği ile sistemin bu ısıyı ne kadar hızlı atabileceği arasında uygun bir denge bulmanız gerekir; aksi takdirde sık sık bozulan parçaları değiştirmek zorunda kalırsınız.
Bu lambalar temiz odalarda kullanıldığı için, kuvarsın gaz salmasını engelleyecek şekilde işlenir. Böylece, döngü sırasında lambadan hiçbir şey wafernize geçmez. Basit, temiz ve işe yarar bir çözüm.