MEMS waflarınızı kurutmak için zaman kaybetmeyi bırakın.
Eğer hâlâ kazıma veya temizleme işlemlerinden sonra waflarınızı sıcak hava ile kurutuyorsanız, aslında gereksiz yere bekliyorsunuz demektir.
Bunu birçok atölyede görüyorum. Sıcak hava yöntemi güvenli gibi görünse de yavaştır. Öncelikle havanın ısınması gerekiyor, ardından da bu hava wafları ısıtmalıdır. Bu süreç, işlem sürenizi uzatan bir aracılık sürecidir.
İnfrakırmızı ışınların avantajları:
İnfrakırmızı ısıtıcılar havayla uğraşmaz; elektromanyetik radyasyonu doğrudan wafların yüzeyine gönderir. Böylece hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşılır. Dakikalar değil, saniyeler…
Derin yarıiletken işlemlerinde bu tasarruf edilen dakikalar çok önemlidir. Waflar daha hızlı işlenir ve üretim süreci daha verimli olur.
Ancak unutmayın ki bu işlem o kadar da basit değildir. İnfrakırmızı ışınlar oldukça güçlüdür. Eğer PID kontrol cihazlarınız tam olarak ayarlanmamışsa, aşırı ısınma olabilir. Bu da MEMS yapılarının zarar görmesine veya tüm sistemin aşırı ısınmasına neden olabilir. Sağlam bir geri bildirim mekanizmasına ihtiyacınız var; aksi takdirde sorunlar yaşarsınız.
Sıcak hava yöntemi daha az zararlıdır. Ancak infrakırmızı ışınlar böyle değildir.
Yine de, yüksek hacimli üretim yapıyorsanız infrakırmızı ışınlar en iyi çözümdür. Bu sistemler, büyük konveksiyon fırınlarına kıyasla daha küçük olduğundan, daha fazla üretim yapılabilir ve tüm alanın kullanılmasına gerek kalmaz. Ayrıca, waflar üzerinde eşit bir ısı dağılımı sağlanır. Hava akımlarının anormal çalışması sonucu ortaya çıkan su lekeleri veya kimyasal kalıntılarla ilgili endişelenmenize gerek kalmaz.
Eğer üretimi artırmak istiyorsanız, bu sistem tam size göre. Tek bir uyarı: Soğutma sisteminizin bu ısıyı karşılayabileceğinden emin olun. Waflarınızı kuruturken diğer ekipmanların da aşırı ısınmaması gerekir.