На цеху виробництва, безпосередньо перед упакуванням, пластинка виходить з процедури фінального очищення, і тут починається критичний етап – будь-яка кількість вологи на поверхні може призвести до проблем: порожнин, розділення шарів матеріалу та зниження якості продукту. Навіть незначні зміни температури можуть пошкодити структуру фотополімеру та знизити точність процесу. Тож необхідне ретельне висушування, яке мусить бути таким же точним, як і процес літографії, але водночас супроводжуватися процесом упакування.
Що є важливим під час висушування
Ми підтримуємо однорідність температури на всій поверхні пластинки в межах ±0,1°C, а точність контролю температури – в межах ±0,2°C. Для нагріву використовуються пристрої на коротких хвилях інфрачервоного випромінювання; кварцові вікна забезпечують чисту та швидку передачу енергії, а елементи з вуглецевими волокнами забезпечують механічну стабільність. У чистих приміщеннях класу 1–100 кількість частинок залишається нижче 0,1 частинки/см² при розмірі частинок 0,1 мкм.
Стабільність параметрів підтримується протягом 5 000 годин та більше; зміна інтенсивності нагріву становить менше 5%. Контроль здійснюється за допомогою системи SECS/GEM, а тепловий цикл розроблений для безперервної роботи 24/7.
Чому цей пристрій підходить для передупакування
Цей пристрій створений саме для передупакування. Швидке підвищення температури дозволяє скоротити час обробки, не порушуючи при цьому параметри температури. Відсутність частинок зберігає чистоту поверхні пластинки, а однорідність температури захищає структуру фотополімеру, яку було створено під час процедур нагрівання.
Енергоспоживання зменшується, оскільки нагрівачі швидко досягають заданої температури та підтримують її стабільно. Це призводить до меншої кількості переробок, стабільних критичних розмірів та можливості планування обсягів виробництва.
Що потрібно для роботи пристрою
Потрібна окрема лінія живлення з напругою 208–240 В, а також чисте, сухе повітря при тиску 4–6 бар. Розміри пристрою компактні, але необхідно залишити простір навколо кварцових вікон для видалення пари та доступу до пристрою. Підключення до існуючих пристроїв для обробки пластинок є простим, але необхідно провести тестову роботу, щоб налаштувати параметри та переконатися у правильності роботи пристрою.
Очікуйте часу на налаштування пристрою – приблизно два тижні, включаючи налаштування параметрів через систему SECS/GEM.