На поверхні заводу ця крива температури нагрівальної плати не лише нагріває пластинку – вона також визначає параметри процесу. Кілька градусів відхилення під час м’якого чи жорсткого нагрівання можуть призвести до зміни критичних розмірів, зміни кутів бокових стінок пластинки, а також до того, що результати обробки не будуть відповідати стандартам. Наш нагрівач для цеху обробки побудований з урахуванням необхідності збереження теплової однорідності на поверхні пластинки – температура залишається стабільною на рівні ±0,1°C, що дозволяє зберегти стабільність параметрів фотолітографічного процесу протягом усього процесу обробки.
Що є важливим у функціонуванні нагрівача
Ми поєднуємо кварцово-галогенові емітери коротких хвиль із нагрівальним блоком з низькою тепловою щільністю. Це дозволяє досягти швидкого та повторюваного нагрівання. Система керування використовує калібровані датчики, розташовані на поверхні пластинки, а не на самому нагрівачі – це дозволяє точно контролювати температуру. Нагрівач відповідає вимогам чистих приміщень класу 1–100; не створює частинок пилу (що підтверджується безпосередньо під час експлуатації). Він може працювати 24/7 без перерв. Повторюваність результатів залишається на рівні 0,2% протягом 5 000+ годин, що забезпечує стабільність параметрів процесу в кожній партії продукції.
Чому нагрівач ефективний під час обробки
На станціях нагрівання необхідно отримувати однаковий профіль температури: м’яке нагрівання для видалення розчинників, жорстке нагрівання для затвердіння маски. Якщо температура виходить за межі необхідних значень, це може призвести до утворення небажаних структур на поверхні пластинки; якщо температура недостатня, залишаються залишки речовин. Цей нагрівач дозволяє підтримувати потрібний профіль температури, зменшує кількість відходів та скорочує час обробки. Потужність нагрівача підбирається відповідно до теплових навантажень, що дозволяє знизити витрати на експлуатацію без зниження швидкості нагрівання.
Кілька практичних порад
Нагрівач потребує окремого, захищеного джерела живлення та чистого, сухого джерела енергії – інакше може виникнути відхилення в температурі. Заміна кабелів на місці може призвести до зміни калібрації на кілька десятих градуса. Плануйте встановлення нагрівача з урахуванням розмірів обладнання та умов у приміщенні. Ми надаємо калібраційні таблиці та шаблони для м’якого та жорсткого нагрівання, але інтеграція все одно залежить від правильного підбору параметрів для пластинки та умов у камері.