Зменшення викидів вуглецю на заводах з використанням інфрачервоних ламп із золотим покриттям
Створення оптимального температурного профілю на заводах з виробництва напівпровідників є складною задачею. Більшість з нас мали справу зі старомодними конвективними печами, які розсіюють тепло всюди. Це є марною тратою ресурсів.
Саме тому ми використовуємо інфрачервоні лампи із золотим покриттям.
Секрет полягає у цьому покритті.
Стандартна кварцова лампа поширює тепло в усіх напрямках. Але коли на кварц додається тонкий шар золота, все змінюється. Золото діє як фільтр – воно відбиває довші хвилі назад до філаменту, а короткочастотну інфрачервону енергію спрямовує прямо на пластину.
Фактично, тепло концентрується саме там, де його потрібно – на самій пластині – а не на всій конструкції обладнання.
Це швидко. Дуже швидко.
Через високу потужність цих ламп час запуску обладнання є мінімальним. Якщо скоротити час обробки однієї пластини, то кількість використаних кіловат-годин також зменшиться.
Але є кілька речей, на які потрібно звернути увагу. По-перше, не економте на джерелах живлення. Ці лампи споживають багато енергії. Якщо проводка не може витримати пікове навантаження, виникнуть перепади напруги, і температурний профіль стане хаотичним.
І, заради всього святого, не дозволяйте лампам бути брудними. Один лише відбиток пальця чи невелика крапля олії на кварці може створити „точку нагріву“. Це призведе до проблем із лампою.
Створення „зеленої фабрики“ на практиці
Ми багато говоримо про скорочення викидів вуглецю, але на заводах це зазвичай стосується саме етапу нагріву. Заміна класичних резистивних нагрівачів на інфрачервоні системи є одним із найпростіших способів досягнення цілі.
Замість нагрівання великої кількості повітря в камері, використовується випромінювання. Це простий спосіб заміни традиційних методів нагріву.
Звісно, система охолодження все одно мусить працювати, щоб контролювати це концентроване тепло. Але загальна кількість енергії, яку завод споживає з мережі, значно зменшується.