Припиніть чекати, поки нагріється печа: чому інфрачервоне опалення стає все більш популярним у виробництві половинникових пристроїв
Якщо ви коли-небудь працювали з обробкою половинникових пристроїв, ви знаєте, наскільки дратує процес очікування, поки камера нагріється. Протягом багатьох років ми просто використовували гаряче повітря, сподіваючись, що воно зрештою нагріє пластину до потрібної температури. Але останнім часом ситуація змінилась. Все більше компаній відмовляються від використання відпрацьованих методів та переходять на інфрачервоне опалення.
Різниця досить проста. Гаряче повітря – це повільний процес. Спочатку нагрівається повітря, потім воно нагріває стінки камери, а вже потім стінки нагрівають саму пластину. Це означає наявність багатьох „посередників“. Інфрачервоне випромінювання ж діє без таких посередників – енергія передається прямо від лампи до поверхні пластини.
Це дуже швидко. Дійсно швидко.
З гарячим повітрям доводиться мати справу з великою тепловою інерцією. Можливо, доведеться чекати хвилини чи навіть години, поки температура досягне необхідного рівня. Лампи з інфрачервоним випромінюванням запускаються миттєво. Достатньо лише увімкнути перемикач – і через кілька секунд температура буде досягнута. Для тих, хто керує виробництвом, це означає скорочення часу виробництва та значну економію коштів на нагрівання повітря.
Але не можна просто використовувати будь-яку лампу. Ми використовуємо захисні елементи з кварцу високої чистоти. Ці елементи слугують захистом для нагрівальних елементів, запобігаючи потраплянню забруднень, водночас дозволяючи інфрачервоному випромінюванню проходити крізь них.
Крім того, кварц може витримувати значні навантаження. Якби ми використовували дешеве скло, воно, ймовірно, розбилося б вже при першому ж увімкненні лампи.
Звісно, це не чарівна паличка. Є певні недоліки. Оскільки випромінювання є напрямленим, воно нагріває лише ту область, яку може „бачити“. Якщо у вашої пластини є складні форми чи глибокі заглиблення, то там будуть місця з низькою температурою. Не можна просто випадково розміщувати лампи – потрібно ретельно планувати їх розташування та кут нахилу відбивачів, щоб тепло розподілялося рівномірно.
Проте використання інфрачервоного опалення стає все більш популярним серед тих, хто хоче скоротити витрати на виробництво. Таким чином можна уникнути проблем, пов’язаних з повільною роботою повітря, та скористатися швидкістю світла.
Ще одна порада: переконайтеся, що система охолодження достатньо потужна. Усе це концентроване тепло навколо корпусу лампи може бути дуже інтенсивним.