Trong quy trình sấy wafer, một hạt có kích thước dưới 1nm trên bộ phận sấy có thể phá hủy một tấm wafer 300mm chỉ trong vài giây. Các thiết bị sưởi cũ kỹ gây ra sự không đồng đều về nhiệt độ, dẫn đến sự thay đổi về chiều rộng của các đường trên bề mặt wafer sau khi xử lý bằng chất phủ quang học. Bạn cần hệ thống kiểm soát nhiệt độ có khả năng theo kịp tốc độ của quy trình sản xuất, chứ không phải hệ thống ngăn cản quy trình đó diễn ra.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi đã thiết kế hệ thống sưởi dành cho việc sấy wafer với hiệu suất nhiệt độ ở mức cao, tương đương với tiêu chuẩn dùng trong công nghệ in ấn. Thiết kế cốt lõi của hệ thống này là sử dụng chất liệu thạch anh kết hợp với nguồn sáng halogen, giúp tạo ra nhiệt độ ổn định và đồng đều trong suốt quá trình sấy, với độ chính xác lên đến ±0,1°C. Độ lặp lại của nhiệt độ cũng rất cao, giúp duy trì độ ổn định của quy trình sấy từ lô này sang lô khác.
Hệ thống hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100. Các vật liệu và cấu trúc được chọn lựa kỹ lưỡng để ngăn chặn sự hình thành các hạt bụi trong quá trình vận hành. Nhờ đó, hệ thống hoạt động ổn định 24/7, không xảy ra sự gián đoạn bất ngờ, và có thể hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ.
Tại sao hệ thống này lại hiệu quả trong thực tế Trong quy trình làm sạch và sấy wafer, hệ thống sưởi giúp duy trì nhiệt độ ổn định. Quy trình sấy giúp loại bỏ hoàn toàn các chất cặn bám trên bề mặt wafer, đồng thời giúp duy trì độ ổn định về năng lượng bề mặt wafer. Trong quy trình xử lý bằng chất phủ quang học, việc kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp duy trì các kích thước quan trọng của wafer, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm do lỗi trong quá trình xử lý. Kết quả là tỷ lệ sản phẩm thành phẩm cao hơn, số lượng sản phẩm bị hỏng ít hơn, và mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm nhờ vào việc sưởi ấm hiệu quả và kiểm soát nhiệt độ chính xác.
Những điều cần lưu ý khi sử dụng hệ thống này Hệ thống sưởi được thiết kế dành cho các loại bộ phận sấy cụ thể và các mức điện áp nhất định. Việc nâng cấp hệ thống đòi hỏi phải có sự phối hợp chính xác về kích thước và thông số điện. Hãy dành thời gian để điều chỉnh các thông số PID và công suất chiếu sáng sao cho phù hợp với loại chất lỏng và chất phủ quang học được sử dụng.
Thời gian hoạt động của hệ thống phụ thuộc vào mức độ sạch của môi trường xung quanh và tần suất bật/tắt hệ thống. Hãy giữ mức bụi trong không khí ở mức thấp, và tránh việc bật/tắt hệ thống quá nhanh để bảo vệ các linh kiện như bóng đèn và thạch anh.