Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, việc sử dụng thiết bị sấy hóa chất phơi sáng không chỉ là một khuyến nghị, mà còn là điều kiện bắt buộc. Sự thay đổi nhiệt độ 0,5°C cũng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác trong việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer. Sự không đồng đều về nhiệt độ trong khu vực xử lý cũng sẽ làm giảm tỷ lệ sản phẩm thành phẩm. Bạn cần một thiết bị sấy có chất lượng tương đương với các thiết bị do chính nhà sản xuất wafer cung cấp, nhưng lại không bị ràng buộc bởi một nhà cung cấp duy nhất.
Chúng tôi chế tạo các thiết bị sấy bằng tia hồng ngoại được thiết kế riêng để kiểm soát nhiệt độ ở mức cao, nhằm hỗ trợ quá trình sấy hóa chất phơi sáng. Thiết bị này giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Độ chính xác của thông số nhiệt độ cũng rất cao, giúp bảo vệ hiệu suất hoạt động của thiết bị. Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại vì chúng có khả năng truyền năng lượng trực tiếp vào wafer – điều này giúp quá trình xử lý diễn ra nhanh chóng, với ít sự chậm trễ giữa lệnh điều khiển và kết quả thực tế.
Thiết bị này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100. Tất cả các giao diện kết nối đều được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Công suất, điện áp và kích thước của thiết bị đều được thiết lập sao cho phù hợp với yêu cầu của buồng xử lý và các đầu nối kết nối, nhờ đó thiết bị có thể được tích hợp vào hệ thống xử lý nhiệt mà không cần sửa đổi gì thêm.
Chúng tôi kiểm tra hiệu suất của thiết bị dựa trên các tiêu chuẩn quốc tế về thiết bị xử lý bán dẫn, đồng thời cung cấp các dữ liệu đo lường như bản đồ độ đồng đều nhiệt độ, thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn, và mức độ ổn định của thiết bị khi hoạt động dưới tải. Nhờ vậy, việc thay thế thiết bị sẽ dễ dàng hơn, và bạn có thể lên kế hoạch bảo trì một cách chính xác.
Việc lắp đặt thiết bị khá đơn giản, nhưng bạn cần coi điểm kết nối nhiệt độ là một điểm kiểm soát quan trọng. Hãy đảm bảo rằng các bộ phận kết nối được căn chỉnh chính xác, để giữ cho môi trường xử lý luôn kín khít. Ngay cả những lỗ rò rỉ nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu suất hoạt động của thiết bị. Hãy lên kế hoạch thực hiện một vài cuộc kiểm tra ngắn để điều chỉnh các thông số PID cho phù hợp với điều kiện hoạt động cụ thể của thiết bị.